マスフローコントローラー

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当社のマスフローコントローラーは、広範な測定範囲において質量流量の精密かつ再現性の高い測定・制御を実現します。汎用性と高い設定自由度を備えた設計により、様々な流量範囲、流体接続、インターフェースに対応可能です。 Sensirionのマスフローコントローラーは、精度と信頼性が不可欠な産業オートメーション、プロセス制御、医療技術における様々な用途に適しています。実証済みの現場性能と一貫した品質を備えた当社のマスフローセンサーは、過酷な環境下での正確な流量制御を実現する信頼性の高いソリューションを提供します。お客様の特定の用途に最適な構成を見つけるため、当社のマスフローコントローラー製品群をご覧ください。

フィルター

シリーズ
- EK-F5x
  1
- SFC3x00
  1
- SFC4x00
  1
- SFC5300
  2
- SFC5400
  2
- SFC5500
  5
- SFC6000
  4
- ASP1400
  0
- EK-LD20xx
  0
- EK-LPG10
  0
- EK-Px
  0
- EK-SLF3x
  0
- EK-SLx
  0
- ESS
  0
- LD20
  0
- LG01
  0
- LG16
  0
- LPG10
  0
- LS32-1500
  0
- SCC1
  0
- SCC30-DB
  0
- SCD30
  0
- SCD4x
  0
- SCD4x Gadget
  0
- SDP1xxx
  0
- SDP3x
  0
- SDP5xx
  0
- SDP6xx
  0
- SDP8xx
  0
- SDPxxx cap
  0
- SEK-SCDxx
  0
- SEK-SDP
  0
- SEK-SEN5x
  0
- SEK-SEN6x
  0
- SEK-SensorBridge
  0
- SEK-SFAxx
  0
- SEK-SFMxxxx
  0
- SEK-SHTxx
  0
- SEK-SPSxx
  0
- SEK-STC31
  0
- SEK-STCC4
  0
- SEK-STS4x
  0
- SEK-SVMxx
  0
- SEN5x
  0
- SEN6x
  0
- SENSEVAL-SCB4XV1
  0
- SENSEVAL-SHT4XV1
  0
- SFA30
  0
- SFA40
  0
- SFM3xxx
  0
- SFM3xxx-AW/D
  0
- SFM4xxx
  0
- SFM5xxx
  0
- SFM6000-OEM
  0
- SFx filter cap
  0
- SGD43S-M3-Sx
  0
- SGM53xx
  0
- SGM63xx
  0
- SGM64xx
  0
- SGP30
  0
- SGP4x
  0
- SGPC3
  0
- SHT1x
  0
- SHT2x
  0
- SHT31 Smart Gadget
  0
- SHT3x
  0
- SHT43 DemoBoard
  0
- SHT4x
  0
- SHT4xA
  0
- SHT4xI
  0
- SHT4x Smart Gadget
  0
- SHT7x
  0
- SHT85
  0
- SHTCx
  0
- SHTWx
  0
- SLD3P
  0
- SLF3S
  0
- SLF3x
  0
- SLG
  0
- SLI
  0
- SLQ-QT105
  0
- SLQ-QT500
  0
- SLS-1500
  0
- SPS30
  0
- STC31
  0
- STC42x
  0
- STCC4
  0
- STS2x
  0
- STS3x
  0
- STS4x
  0
- STS4xA
  0
- SVM30
  0
クラス
- 評価キット
  1
- センサー
  15
- アクセサリー
  0
- 開発委員会
  0
- リファレンスデザイン
  0
製品ステータス
- アクティブ
  14
- 新しいデザインにはお勧めしません
  1
- 廃止
  1
- 今後の
  0
- 新着
  0
- 前回購入
  0
インターフェース
- I²C
  4
- RS485
  14
- Device net
  6
- IO link
  1
- Analog voltage
  3
- Analog current
  1
- Sensibus
  0
- PWM
  0
- SDM
  0
- UART
  0
- RS232
  0
- Switch
  0
- ModBus
  0

SFC6000-OEM

SFC6000-OEM

優れた価格性能比、カスタマイズ可能

フルスケール流量

2, 5, 20 and 50 slm

0.2% FS or 2% SP

キャリブレーション

Air, N₂, O₂, N₂O, Ar, CO₂ and other non-aggressive gasses flow

最高使用圧力

流体コネクタポート

Push-in 6mm, downmount

インターフェイス

Analog voltage, I²C, RS485

サイズ (LxWxH)

102 x 45 x 20 mm

センサー
マスフローコントローラー

SFC6000D-5slm

SFC6000D-5slm

優れた価格性能比、流通、5 slm

フルスケール流量

0.2% FS or 2% SP

キャリブレーション

Air, N₂, O₂, N₂O, Ar and CO₂ flow

最高使用圧力

流体コネクタポート

Push-in 6mm, downmount

インターフェイス

サイズ (LxWxH)

102 x 45 x 20 mm

センサー
マスフローコントローラー

SFC6000D-50slm

SFC6000D-50slm

優れた価格性能比、流通、50 slm

フルスケール流量

0.2% FS or 2% SP

キャリブレーション

Air, N₂, O₂, N₂O and Ar and CO₂ flow

最高使用圧力

流体コネクタポート

Push-in 6mm, downmount

インターフェイス

サイズ (LxWxH)

102 x 45 x 20 mm

センサー
マスフローコントローラー

SFC6000D-20slm

SFC6000D-20slm

優れた価格性能比、流通、20 slm

フルスケール流量

0.2% FS or 2% SP

キャリブレーション

Air, N₂, O₂, N₂O, Ar and CO₂ flow

最高使用圧力

流体コネクタポート

Push-in 6mm, downmount

インターフェイス

サイズ (LxWxH)

102 x 45 x 20 mm

センサー
マスフローコントローラー

SFC5500-50sccm

SFC5500-50sccm

汎用マスフローコントローラー、オンライン流通、50sccm

フルスケール流量

0.2%FS or 2% SP

キャリブレーション

Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O flow

最高使用圧力

流体コネクタポート

インターフェイス

Device net, RS485

サイズ (LxWxH)

105 x 38.5 x 90.5 mm

センサー
マスフローコントローラー

SFC5500-2slm

SFC5500-2slm

汎用マスフローコントローラー、オンライン流通、2 slm

フルスケール流量

0.08% FS or 0.8% SP

キャリブレーション

Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O flow

最高使用圧力

流体コネクタポート

インターフェイス

Device net, RS485

サイズ (LxWxH)

105 x 38.5 x 90.5 mm

センサー
マスフローコントローラー

SFC5500-200slm

SFC5500-200slm

汎用マスフローコントローラー、オンライン流通、200 slm

フルスケール流量

0.08% FS or 0.8% SP

キャリブレーション

Air, O2 and N2 flow

最高使用圧力

流体コネクタポート

インターフェイス

Device net, RS485

サイズ (LxWxH)

135 x 24.6 x 91 mm

センサー
マスフローコントローラー

SFC5500-10slm

SFC5500-10slm

汎用マスフローコントローラー、オンライン流通、10 slm

フルスケール流量

0.08% FS or 0.8% SP

キャリブレーション

Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O flow

最高使用圧力

流体コネクタポート

インターフェイス

Device net, RS485

サイズ (LxWxH)

115 x 24.6 x 91 mm

センサー
マスフローコントローラー

SFC5500-0.5slm

SFC5500-0.5slm

汎用マスフローコントローラー、オンライン流通、0.5 slm

フルスケール流量

0.08% FS or 0.8% SP

キャリブレーション

Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O flow

最高使用圧力

流体コネクタポート

インターフェイス

Device net, RS485

サイズ (LxWxH)

115 x 24.6 x 91 mm

センサー
マスフローコントローラー

SFC5460

SFC5460

Versatile MFC for OEM projects with high unit quantities

フルスケール流量

0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 and 10 slm slm

0.08% FS or 0.8% SP

キャリブレーション

Air, H2, O2, He, Ar, CO2 and N2 and O2 flow flow

最高使用圧力

流体コネクタポート

Swagelok, VCR, VCO, W-Seal, Downmount

インターフェイス

サイズ (LxWxH)

101.1 x 24.4 x 91 mm

センサー
マスフローコントローラー

SFC5400

SFC5400

多用途マスフローコントローラー

フルスケール流量

1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 slm

0.08% FS or 0.8% SP

キャリブレーション

Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 flow

最高使用圧力

流体コネクタポート

Swagelock, VCO, VCR, Downmount

インターフェイス

Analog voltage, Analog current, Device net, IO link, RS485

サイズ (LxWxH)

101.1 x 24.4 x 91 mm

センサー
マスフローコントローラー

SFC5330

SFC5330

コスト重視のOEMプロジェクトで大量生産するための小型MFC

フルスケール流量

0.2%FS or 2% SP

キャリブレーション

Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 flow

最高使用圧力

流体コネクタポート

インターフェイス

サイズ (LxWxH)

34 x 25 x 62.2 mm

センサー
マスフローコントローラー

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