SFC5500-0.5slm

汎用マスフローコント ローラー、オンライン 流通、0.5 slm

マスフローコントローラー「SFC5500」シリーズは、ガスフローの精密制御においてセンシリオンが歩んできた20年間の実績の集大成です。このセンサーはマイクロサーマル測定原理に基づいており、当社の実績のあるCMOSens® MEMS技術を活用しています。これにより、当社はクラス最高のパフォーマンスと優れた信頼性を備えた非常に素晴らしいマスフローコントローラーを作ることができました。本製品は市場に出ている他製品とは異なり、ドリフトすることがなく、市場で再校正する必要がありません。 CMOSens® MEMSフローセンサーが実現出来る幅広い流量制御範囲によって、「SFC5500」シリーズは一台の製品で従来のマスフローコントローラーの複数の流量範囲に対応できます。複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせた「SFC5500」シリーズは、幅広い用途に適した標準品として入手可能な市場初のマスフローコントローラーです。この汎用性のおかげで、「SFC5500」シリーズはカタログ販売を通じて購入できる初のマスフローコントローラーでもあります。 「SFC5500」シリーズは、センシリオン製のクラス最高のマスフローコントローラー「SFC5xxx」ファミリーを補完します。本製品は「SFC5400」と同等の上位パフォーマンスを誇るため、医療、分析、産業の環境での幅広い用途に適しています。但し、高度な設定が可能な「SFC5400」シリーズとは異なり、マスフローコントローラー「SFC5500」シリーズは標準的な設定済みのバリエーションからお選びいただきます。それ以外のガス、流量範囲、継手、インターフェースが必要な場合は、「SFC5400」またはコストパフォーマンスの高いOEM専用の「SFC5300」をご欄ください。 マスフローメーターをお探しの方には、同等のパフォーマンスを発揮し、SFC5500の姉妹品でバルブ無しの「SFM5500」があります。

仕様

マスフロー
フルスケール流量
0.5
0.5slm
フルスケール流量
500
500sccm
精度
0.08% FS or 0.8% SP
0.08% FS or 0.8% SP
最高使用圧力
5
5bar
キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2Oflow
流体コネクタポート
Legris
Legris
汎用
供給電圧
14 - 26.4
14 - 26.4V
平均供給電流
75000
75000uA
最大供給電流
120000
120000uA
インターフェイス
Device net, RS485
Device net, RS485
サイズ (LxWxH)
115 x 24.6 x 91
115 x 24.6 x 91mm

ダウンロード

Datasheet SFC5500/SFM5500

02/2024

ファイル

975.3 KB

データシート02/2024PDF975.3 KB
Compatible fittings SFC5500/SFM5500

10/2022

ファイル

193.4 KB

アプリケーションノート10/2022PDF193.4 KB
STEP file SFC5500-50sccm/0.5slm/2slm/10slm

04/2022

ファイル

3.4 MB

Drawings/CAD04/2022STEP3.4 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx

07/2023

ファイル

869.9 KB

アプリケーションノート07/2023PDF869.9 KB
Mean time between failures analysis

08/2022

ファイル

202.9 KB

アプリケーションノート08/2022PDF202.9 KB
Reference and flow conversions

09/2021

ファイル

293.7 KB

アプリケーションノート09/2021PDF293.7 KB
Selection guide mass flow controllers

11/2023

ファイル

347.8 KB

アプリケーションノート11/2023PDF347.8 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx

ファイル

665.2 KB

アプリケーションノートPDF665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx

09/2021

ファイル

369.3 KB

ユーザーガイド09/2021PDF369.3 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx

07/2022

ファイル

1002.3 KB

ユーザーガイド07/2022PDF1002.3 KB
SFC5xxx DeviceNet communication interface reference

03/2023

ファイル

796.4 KB

ユーザーガイド03/2023PDF796.4 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx

ファイル

1.3 MB

ユーザーガイドPDF1.3 MB
Python driver SFC5xxx/SFM5xxx

Link

ソフトウェアリンク
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx

06/2022

ファイル

ソフトウェア06/2022ファイル名
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

ファイル

1.7 MB

ソフトウェア03/2022ZIP1.7 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx

04/2022

ファイル

1.1 MB

ソフトウェア04/2022ZIP1.1 MB
REACH and RoHS declaration SFC

01/2025

ファイル

82.4 KB

証明書01/2025PDF82.4 KB
Mass flow controllers brochure

05/2024

ファイル

540.8 KB

フライヤー05/2024PDF540.8 KB

センサーの評価

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