SFC5330
コスト重視のOEMプロジェクトで大量生産するための小型MFC
マスフローコントローラー「SFC5300」は、優れた精度、長期的な安定性、再現性でマスフローを計測・制御します。コンパクトサイズでありながら、ダイナミックな測定範囲を実現しています。本体筐体は金属製です。マスフローコントローラ「SFC5330」は、ダウンマウント接続やデジタルインターフェースを備えています。マスフローコントローラー「SFC5300」の小型版で、コスト重視の大量生産OEMプロジェクトに適しています。
卓越した性能を実現するマスフローメーター「SFC5330」。他のSensirion製センサーと同様、高精度のセンサー技術とプロセス用電子機器をCMOSシリコンチップ上に搭載した革新的なCMOSens®技術に支えられています。高品質な素材と組み合わせることで、耐久性が高く安定した、高速・高精度なSFC5330マスフローコントローラーを実現しています。マスフローコントローラ「SFC5330」は、バルブレスタイプもあります。2種類のセンサー製品は同じ性能特性を備え、用途も類似しているため、組み合わせてお使いいただけます。
数量が多いプロジェクトの場合は、要件に合ったマスフローコントローラーを調整・開発します。
仕様
| マスフロー | |||
|---|---|---|---|
| フルスケール流量 1, 2 and 5 | 1, 2 and 5 | slm | |
| フルスケール流量 50, 100, 200 and 500 | 50, 100, 200 and 500 | sccm | |
| 精度 0.2%FS or 2% SP | 0.2%FS or 2% SP | ||
| 最高使用圧力 10 | 10 | bar | |
| キャリブレーション Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 | Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 | flow | |
| 流体コネクタポート Downmount | Downmount |
| 汎用 | |||
|---|---|---|---|
| 供給電圧 14 - 26.4 | 14 - 26.4 | V | |
| 平均供給電流 50000 | 50000 | uA | |
| 最大供給電流 320000 | 320000 | uA | |
| インターフェイス RS485 | RS485 | ||
| サイズ (LxWxH) 34 x 25 x 62.2 | 34 x 25 x 62.2 | mm |
ダウンロード
センサーの評価
このセンサーを評価するために、以下の製品を購入します。
各ビューワーソフトをダウンロードして、測定を開始します
ダウンロードセンターへ評価キットでセンサーのテストが簡単に始められます
開始までの流れ最新情報 マスフローコントローラー
探索
アプリケーション用のスマートセンサー
センシリオンのセンサーソリューションは、幅広いアプリケーションと市場で使用されています。当社の信頼性の高い環境センサーとフローセンサーは、エネルギー効率を改善し、健康を増進し、安全性と快適性を確保します。