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半導体業界では、フォトレジストをウェーハに正確に塗布する工程が重要です。投与量が不十分だと収量の損失につながりますが、過剰だとコストが非常に高くなります。
当社センサーがもたらす違いとは
正確な使用量
Sensirion製の液体フローセンサーは、フォトレジストの小さな電流を測定できます。これにより、半導体の製造におけるフォトレジスト材料の正確な投与が可能になります。
継続モニタリング
リアルタイム測定により、製造プロセスの継続モニタリングが可能。製造プロセスの品質の変化は確実に検出され、早期介入によって製造エラーを防ぐことができます。
半導体用に製造
このセンサーは半導体用途に適しており、互換性、品質、信頼性に関するすべての要件を満たしています。
センシリオンがお客様のソリューションに欠かせない理由
最新の施設で使用
世界中の主要な半導体企業は、スピンコーティング施設でのフォトレジストの投与とモニタリングに当社の液体フローセンサーを利用しています。
関連センサー
アクティブ
SLQ-QT105
最大120 ml/minの炭化水素用高純度液体流量センサー
- センサー
- 液体フロー
アクティブ
SLQ-QT500
最大120 ml/minでの液体流量センサー、高粘性液体の測定
- センサー
- 液体フロー
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