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SFC5300

大量生産のコストに厳しいOEMプロジェクト向けMFC

マスフローコントローラー「SFC5300」は、優れた精度、長期安定性、再現性で質量流量を測定および制御します。これは、コンパクトなサイズにもかかわらず広いダイナミックレンジで測定可能です。「SFC5300」の本体ボディーは金属製です。マスフローコントローラー「SFC5300」の流体接続にはダウンマウント接続を、インターフェースには2つのデジタルインターフェイスを用意しています。マスフローコントローラー「SFC5300」は、マスフローコントローラー「SFC5400」の小型版で、コスト重視の量産OEMプロジェクト向けです。 マスフローコントローラー「SFC5300」は、当社の全てのセンサーと同様に、高精度センサー素子とアナログおよびデジタル信号処理回路を1つのCMOSチップ上に統合し、優れた性能を発揮する画期的なCMOSens®技術を基にしています。高品質の材料と組み合わせることで、耐久性の高い、非常に高速で高精度なマスフローコントローラーとなっています。 マスフローコントローラー「SFC5300」にはバルブのないバージョンもあります。マスフローメーター「SFM5300」は、マスフローコントローラーと同じ性能、特性を持ち、同様のアプリケーションで使用されますので、これらを組み合わせて使用することも可能です。 ※マスフローメーター「SFM5300」に関してのより詳しい情報はこちらをご確認ください。 所要数量の多いお客様のプロジェクトには、お客様の特定のご要望に合わせてマスフローコントローラーを開発いたします。
営業担当者にお問い合わせ

仕様

マスフロー
フルスケール流量
1, 2, 5 and 10
1, 2, 5 and 10slm
フルスケール流量
50, 100, 200 and 500
50, 100, 200 and 500sccm
精度
0.2%FS or 2% SP
0.2%FS or 2% SP
最高使用圧力
10
10bar
キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8flow
流体コネクタポート
Downmount
Downmount
汎用
供給電圧
14 - 26.4
14 - 26.4V
平均供給電流
50000
50000uA
最大供給電流
320000
320000uA
インターフェイス
RS485
RS485
サイズ (LxWxH)
48 x 25 x 79.5
48 x 25 x 79.5mm

ダウンロード

Mass flow controllers brochure

05/2024

ファイル

540.8 KB

フライヤー05/2024PDF540.8 KB
Mass flow controllers brochure Chinese

06/2024

ファイル

633.9 KB

フライヤー06/2024PDF633.9 KB
Mass flow controllers brochure Japanese

06/2024

ファイル

1.1 MB

フライヤー06/2024PDF1.1 MB
Datasheet SFC5300/SFM5300 & SFC5330/SFM5330

05/2023

ファイル

895.6 KB

データシート05/2023PDF895.6 KB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx

07/2023

ファイル

869.9 KB

アプリケーションノート07/2023PDF869.9 KB
Mean time between failures analysis

08/2022

ファイル

202.9 KB

アプリケーションノート08/2022PDF202.9 KB
Reference and flow conversions

09/2021

ファイル

293.7 KB

アプリケーションノート09/2021PDF293.7 KB
Selection guide mass flow controllers

11/2023

ファイル

347.8 KB

アプリケーションノート11/2023PDF347.8 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx

ファイル

665.2 KB

アプリケーションノートPDF665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx

09/2021

ファイル

369.3 KB

ユーザーガイド09/2021PDF369.3 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx

07/2022

ファイル

1002.3 KB

ユーザーガイド07/2022PDF1002.3 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx

ファイル

1.3 MB

ユーザーガイドPDF1.3 MB
Python driver SFC5xxx/SFM5xxx

Link

ソフトウェアリンク
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx

06/2022

ファイル

ソフトウェア06/2022ファイル名
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

ファイル

1.7 MB

ソフトウェア03/2022ZIP1.7 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx

04/2022

ファイル

1.1 MB

ソフトウェア04/2022ZIP1.1 MB
Mounting plate SFX53xx

07/2022

ファイル

196.0 KB

Drawings/CAD07/2022STEP196.0 KB
STEP file SFC5300

ファイル

4.7 MB

Drawings/CADZIP4.7 MB
REACH and RoHS declaration SFC

01/2025

ファイル

100.3 KB

証明書01/2025PDF100.3 KB

アプリケーション用のスマートセンサー

センシリオンのセンサーソリューションは、幅広いアプリケーションと市場で使用されています。当社の信頼性の高い環境センサーとフローセンサーは、エネルギー効率を改善し、健康を増進し、安全性と快適性を確保します。

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センサーの評価

このセンサーを評価するために、以下の製品を購入します。

名前説明シリーズカテゴリ
EK-F5xSFCおよびSFM評価キットSFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxxEK-F5xマスフローコントローラー

EK-F5x

SFCおよびSFM評価キットSFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx

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マスフローコントローラー

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