SFC5300
大量生産のコストに厳しいOEMプロジェクト向けMFC
マスフローコントローラー「SFC5300」は、優れた精度、長期安定性、再現性で質量流量を測定および制御します。これは、コンパクトなサイズにもかかわらず広いダイナミックレンジで測定可能です。「SFC5300」の本体ボディーは金属製です。マスフローコントローラー「SFC5300」の流体接続にはダウンマウント接続を、インターフェースには2つのデジタルインターフェイスを用意しています。マスフローコントローラー「SFC5300」は、マスフローコントローラー「SFC5400」の小型版で、コスト重視の量産OEMプロジェクト向けです。
マスフローコントローラー「SFC5300」は、当社の全てのセンサーと同様に、高精度センサー素子とアナログおよびデジタル信号処理回路を1つのCMOSチップ上に統合し、優れた性能を発揮する画期的なCMOSens®技術を基にしています。高品質の材料と組み合わせることで、耐久性の高い、非常に高速で高精度なマスフローコントローラーとなっています。
マスフローコントローラー「SFC5300」にはバルブのないバージョンもあります。マスフローメーター「SFM5300」は、マスフローコントローラーと同じ性能、特性を持ち、同様のアプリケーションで使用されますので、これらを組み合わせて使用することも可能です。
※マスフローメーター「SFM5300」に関してのより詳しい情報はこちらをご確認ください。
所要数量の多いお客様のプロジェクトには、お客様の特定のご要望に合わせてマスフローコントローラーを開発いたします。
仕様
| マスフロー | |||
|---|---|---|---|
| フルスケール流量 1, 2, 5 and 10 | 1, 2, 5 and 10 | slm | |
| フルスケール流量 50, 100, 200 and 500 | 50, 100, 200 and 500 | sccm | |
| 精度 0.2%FS or 2% SP | 0.2%FS or 2% SP | ||
| 最高使用圧力 10 | 10 | bar | |
| キャリブレーション Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 | Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 | flow | |
| 流体コネクタポート Downmount | Downmount |
| 汎用 | |||
|---|---|---|---|
| 供給電圧 14 - 26.4 | 14 - 26.4 | V | |
| 平均供給電流 50000 | 50000 | uA | |
| 最大供給電流 320000 | 320000 | uA | |
| インターフェイス RS485 | RS485 | ||
| サイズ (LxWxH) 48 x 25 x 79.5 | 48 x 25 x 79.5 | mm |
ダウンロード
センサーの評価
このセンサーを評価するために、以下の製品を購入します。
各ビューワーソフトをダウンロードして、測定を開始します
ダウンロードセンターへ評価キットでセンサーのテストが簡単に始められます
開始までの流れ最新情報 マスフローコントローラー
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