EK-F5x

Q1/2023起代理渠道生效

SFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx评估套件

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规范

Generic
电源电压
100 - 240
100 - 240 V

下载

名称 类型 日期 文件 规模
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

File

1.7 MB

软件 03/2022 ZIP 1.7 MB
Mass flow controllers brochure

05/2024

File

540.8 KB

传单 05/2024 PDF 540.8 KB
Datasheet SFC6000D/SFM6000D

05/2023

File

1.4 MB

数据表 05/2023 PDF 1.4 MB
SHDLC Interface Reference SFC6xxx and SFM6xxx RS485

05/2023

File

842.0 KB

应用说明 05/2023 PDF 842.0 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx

09/2021

File

369.3 KB

用户指南 09/2021 PDF 369.3 KB
Quick start guide SFC/SFM6000 evaluation kit

01/2023

File

561.9 KB

用户指南 01/2023 PDF 561.9 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

File

1.3 MB

用户指南 03/2022 PDF 1.3 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx

04/2022

File

1.1 MB

软件 04/2022 ZIP 1.1 MB

兼容产品

名称 产品介绍 系列 类别
SFC5300
 质量流量控制器（成本敏感、大批量OEM应用） SFC5300 质量流量控制器
SFC5330
 小型质量流量控制器（成本敏感，大批量OEM应用） SFC5300 质量流量控制器
SFC5400
 多功能质量流量控制器 SFC5400 质量流量控制器
SFC5460
 Versatile MFC for OEM projects with high unit quantities SFC5400 质量流量控制器
SFC5500-0.5slm
 多功能质量流量控制器，线上分销，0.5 slm SFC5500 质量流量控制器
SFC5500-10slm
 多功能质量流量控制器，线上分销，10 slm SFC5500 质量流量控制器
SFC5500-200slm
 多功能质量流量控制器，线上分销，200 slm SFC5500 质量流量控制器
SFC5500-2slm
 多功能质量流量控制器，线上分销，2slm SFC5500 质量流量控制器
SFC5500-50sccm
 多功能质量流量控制器，线上分销，50 sccm SFC5500 质量流量控制器
SFC6000D-20slm
 高性价比，发行版本，20 slm SFC6000-OEM 质量流量控制器
SFC6000D-50slm
 高性价比，发行版本，50 slm SFC6000-OEM 质量流量控制器
SFC6000D-5slm
 高性价比，发行版本，5 slm SFC6000-OEM 质量流量控制器
SFC6000-OEM
 高性价比质量流量控制器，可定制版本 SFC6000-OEM 质量流量控制器
SFM5300
 高精度、可配置、响应快的数字流量传感器(适用于OEM) SFM5xxx 气体流量
SFM5330
 High-precision, configurable, fast, digital flow sensor for OEM SFM5xxx 气体流量
SFM5400
 高精度、可配置、响应快的多气体流量传感器 SFM5xxx 气体流量
SFM5460
 High-precision, configurable, fast, gas flow sensor for OEM SFM5xxx 气体流量
SFM5500-0.5slm
 用于多种气体的高压质量流量计, 0.5slm SFM5xxx 气体流量
SFM5500-50sccm
 用于多种气体的高压质量流量计, 50sccm SFM5xxx 气体流量
SFM6000D-20slm
 高性价比，发行版本，20 slm SFM6000-OEM 气体流量
SFM6000D-50slm
 高性价比，发行版本，50 slm SFM6000-OEM 气体流量
SFM6000D-5slm
 高性价比，发行版本，5 slm SFM6000-OEM 气体流量
SFM6000-OEM
 最佳的价格性能比，可定制版本 SFM6000-OEM 气体流量

SFC5300

质量流量控制器（成本敏感、大批量OEM应用）

SFC5300

质量流量控制器

SFC5330

小型质量流量控制器（成本敏感，大批量OEM应用）

SFC5300

质量流量控制器

SFC5400

多功能质量流量控制器

SFC5400

质量流量控制器

SFC5460

Versatile MFC for OEM projects with high unit quantities

SFC5400

质量流量控制器

SFC5500-0.5slm

多功能质量流量控制器，线上分销，0.5 slm

SFC5500

质量流量控制器

SFC5500-10slm

多功能质量流量控制器，线上分销，10 slm

SFC5500

质量流量控制器

SFC5500-200slm

多功能质量流量控制器，线上分销，200 slm

SFC5500

质量流量控制器

SFC5500-2slm

多功能质量流量控制器，线上分销，2slm

SFC5500

质量流量控制器

SFC5500-50sccm

多功能质量流量控制器，线上分销，50 sccm

SFC5500

质量流量控制器

SFC6000D-20slm

高性价比，发行版本，20 slm

SFC6000-OEM

质量流量控制器

SFC6000D-50slm

高性价比，发行版本，50 slm

SFC6000-OEM

质量流量控制器

SFC6000D-5slm

高性价比，发行版本，5 slm

SFC6000-OEM

质量流量控制器

SFC6000-OEM

高性价比质量流量控制器，可定制版本

SFC6000-OEM

质量流量控制器

SFM5300

高精度、可配置、响应快的数字流量传感器(适用于OEM)

SFM5xxx

气体流量

SFM5330

High-precision, configurable, fast, digital flow sensor for OEM

SFM5xxx

气体流量

SFM5400

高精度、可配置、响应快的多气体流量传感器

SFM5xxx

气体流量

SFM5460

High-precision, configurable, fast, gas flow sensor for OEM

SFM5xxx

气体流量

SFM5500-0.5slm

用于多种气体的高压质量流量计, 0.5slm

SFM5xxx

气体流量

SFM5500-50sccm

用于多种气体的高压质量流量计, 50sccm

SFM5xxx

气体流量

SFM6000D-20slm

高性价比，发行版本，20 slm

SFM6000-OEM

气体流量

SFM6000D-50slm

高性价比，发行版本，50 slm

SFM6000-OEM

气体流量

SFM6000D-5slm

高性价比，发行版本，5 slm

SFM6000-OEM

气体流量

SFM6000-OEM

最佳的价格性能比，可定制版本

SFM6000-OEM

气体流量

最新的 质量流量控制器

活跃

SFC6000-OEM

高性价比质量流量控制器，可定制版本

  • 传感器
  • 质量流量控制器
活跃

SFC6000D-50slm

高性价比，发行版本，50 slm

  • 传感器
  • 质量流量控制器
活跃

SFC6000D-20slm

高性价比，发行版本，20 slm

  • 传感器
  • 质量流量控制器
活跃

SFC6000D-5slm

高性价比，发行版本，5 slm

  • 传感器
  • 质量流量控制器
活跃

SFC5460

Versatile MFC for OEM projects with high unit quantities

  • 传感器
  • 质量流量控制器
活跃

SFC5500-2slm

多功能质量流量控制器，线上分销，2slm

  • 传感器
  • 质量流量控制器
活跃

SFC5500-50sccm

多功能质量流量控制器，线上分销，50 sccm

  • 传感器
  • 质量流量控制器

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