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法律声明© Sensirion AG

SFC5400

多功能质量流量控制器

SFC5400质量流量控制器以优异的精度、长期稳定性和可重复性测量和控制质量流量,覆盖宽动态测量范围。SFC5400可高度配置,其外壳由金属制成。此外,流量控制器可使用各种电气接口和各种流体连接件,测量50 sccm到200 slm的最大流量。传感器信号可在芯片上直接转换成100%校准和经温度补偿的数字信号。多气体校准可存储在单个器件上。此外,流量控制器还可检查激活的气体校准与实际气体是否匹配。SFC5400的通用性使之成为了工业和医疗应用的理想解决方案。 SFC5400质量流量控制器与所有传感器产品一样,依赖创新的CMOSens® 技术,在一个CMOS硅芯片上集成了高精度传感器元件及模拟和数字处理电路,可保证优异的性能。配合优质材料,SFC5400可实现持久稳定、快速和高度精确的流量控制。 SFC5400质量流量控制器也提供无阀版本。SFM5400质量流量计与质量流量控制器具有相同性能特性,可用在类似应用当中,SFC5400和SFM5400可完美组合在一起。在SFM5400网站,您可以找到关于质量流量控制器的更多信息和详细规格。 对于大批量的项目,我们可根据您的具体要求调整或开发您需要的质量流量控制器。
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规范

质量流量
满量程流速
1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100
1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100slm
满量程流速
50, 100, 200 and 500
50, 100, 200 and 500sccm
准确度
0.08% FS or 0.8% SP
0.08% FS or 0.8% SP
最大工作压力
5
5bar
校准
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8flow
流体连接器端口
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
通用的
电源电压
14 - 26.4
14 - 26.4V
平均供应电流
50000
50000uA
最大供应电流
320000
320000uA
接口
Analog voltage, Analog current, Device net, IO link, RS485
Analog voltage, Analog current, Device net, IO link, RS485
尺寸 (长x宽x高)
101.1 x 24.4 x 91
101.1 x 24.4 x 91mm

下载

Datasheet SFC5400/SFM5400
  • 05/2023•
  • PDF•
  • 798.8 KB
数据表05/2023PDF798.8 KB
SFC5xxx DeviceNet communication interface reference
  • 03/2023•
  • PDF•
  • 796.4 KB
用户指南03/2023PDF796.4 KB
STEP file SFC5400
  • ZIP•
  • 3.2 MB
Drawings/CADZIP3.2 MB
Mass flow controllers brochure
  • 05/2024•
  • PDF•
  • 540.8 KB
传单05/2024PDF540.8 KB
Mass flow controllers brochure Chinese
  • 06/2024•
  • PDF•
  • 633.9 KB
传单06/2024PDF633.9 KB
Mass flow controllers brochure Japanese
  • 06/2024•
  • PDF•
  • 1.1 MB
传单06/2024PDF1.1 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx
  • 07/2023•
  • PDF•
  • 869.9 KB
应用说明07/2023PDF869.9 KB
Mean time between failures analysis
  • 08/2022•
  • PDF•
  • 202.9 KB
应用说明08/2022PDF202.9 KB
Reference and flow conversions
  • 09/2021•
  • PDF•
  • 293.7 KB
应用说明09/2021PDF293.7 KB
Selection guide mass flow controllers
  • 11/2023•
  • PDF•
  • 347.8 KB
应用说明11/2023PDF347.8 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx
  • PDF•
  • 665.2 KB
应用说明PDF665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx
  • 09/2021•
  • PDF•
  • 369.3 KB
用户指南09/2021PDF369.3 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx
  • 07/2022•
  • PDF•
  • 1002.3 KB
用户指南07/2022PDF1002.3 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx
  • PDF•
  • 1.3 MB
用户指南PDF1.3 MB
Python driver SFC5xxx/SFM5xxx
  • 链接•
软件链接
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx
  • 06/2022•
  • 文件•
软件06/2022文件
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx
  • 03/2022•
  • ZIP•
  • 1.7 MB
软件03/2022ZIP1.7 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx
  • 04/2022•
  • ZIP•
  • 1.1 MB
软件04/2022ZIP1.1 MB
Mounting Plate SFX54xx
  • 07/2022•
  • STEP•
  • 168.2 KB
Drawings/CAD07/2022STEP168.2 KB
REACH and RoHS declaration SFC
  • 04/2026•
  • PDF•
  • 99.9 KB
证明书04/2026PDF99.9 KB

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