Want more detailed information?
Download our onepager on front opening unified pods (FOUP) - high accuracy and reliable gas purging control for wafer handling for free.
储存半导体芯片的重要工具，也是洁净室环境的一个组成部分
我们的传感器如何发挥作用
精确的环境控制
通过清洗FOUP并注入氮气，控制存储晶圆的环境。在预处理过程中也可以注入其他气体，用于生产更精细的芯片（例如GAA芯片和3nm芯片）。
实时监控
FOUP可以持续监测湿度、氧气和空气中的分子污染物等参数，避免颗粒在晶圆表面沉积和氧化。
安全运输和自动化处理
自动化可确保晶圆安全送到洁净室，同时尽可能降低处理不当的风险。最终优化制造工艺并提高吞吐量。
为什么选择Sensirion
了解相关传感器
活跃
13
SHT3x
经典系列湿度传感器
活跃
10
SHT4x
第四代一流湿度传感器
活跃
SFC6000D-5slm
高性价比，发行版本，5 slm
- 传感器
- 质量流量控制器
活跃
SFC5400
多功能质量流量控制器
- 传感器
- 质量流量控制器
活跃
SFC5500-0.5slm
多功能质量流量控制器，线上分销，0.5 slm
- 传感器
- 质量流量控制器
活跃
SFM6000D-5slm
高性价比，发行版本，5 slm
- 传感器
- 气体流量
活跃
17
SFM4xxx
用于气体混合应用的耐压流量传感器
活跃
8
SFM5xxx
多气体校准和多量程的高精度传感器
Want more detailed information?
Download our onepager on front opening unified pods (FOUP) - high accuracy and reliable gas purging control for wafer handling for free.