SFM5300
高精度、可配置、响应快的数字流量传感器(适用于OEM)
SFM5300质量流量计具有卓越的精度（误差＜1%）、可重复性和长期稳定性，宽动态测量范围，尺寸紧凑。SFM5300质量流量计采用钣金式连接方式和数字接口。金属SFM5300是SFM5400系列质量流量计的变种适用于大批量成本敏感的OEM项目。
SFM5300质量流量计的杰出性能基于创新的CMOSens® 技术，它在一个CMOS硅芯片上集成了高精度传感元件和信号处理电路。结合优质材料，其实现了一个持久稳定、快速和高精度的SFM5300质量流量计。
SFM5300质量流量计是SFC5300质量流量控制器的无阀门版本。两个传感器产品具有相同的性能特性，并适用于在类似的应用，这意味着它们可以理想地结合在一起。在SFC5300 网站，你可以找到关于质量流量控制器的进一步信息和详细规格。
规范
| 气体流量 | |||
|---|---|---|---|
| 典型精度0.2%FS or 2% SP | 0.2%FS or 2% SP | ||
| 校准Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 | Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 | ||
| 最大工作压力10bar | 10 | bar | |
| 流体连接器端口Downmount | Downmount |
| 质量流量 | |||
|---|---|---|---|
| 满量程流速0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100slm | 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 | slm | |
| 准确度0.2%FS or 2% SP | 0.2%FS or 2% SP | ||
| 最大工作压力10bar | 10 | bar | |
| 校准Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8flow | Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 | flow | |
| 流体连接器端口Downmount | Downmount |
| 通用 | |||
|---|---|---|---|
| 电源电压14 - 26.4V | 14 - 26.4 | V | |
| 平均供应电流50000uA | 50000 | uA | |
| 最大供应电流320000uA | 320000 | uA | |
| 接口RS485 | RS485 | ||
| 尺寸 (长x宽x高)48 x 25 x 79.5mm | 48 x 25 x 79.5 | mm |
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