SFM5460

High-precision, configurable, fast, gas flow sensor for OEM

规范

质量流量
满量程流速
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 and 10 slm
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 and 10 slmslm
满量程流速
20 and 50 and 100 sccm
20 and 50 and 100 sccmsccm
准确度
0.08% FS or 0.8% SP
0.08% FS or 0.8% SP
最大工作压力
5
5bar
校准
Air, H2, O2, He, Ar, CO2 and N2 and O2 flow
Air, H2, O2, He, Ar, CO2 and N2 and O2 flowflow
通用的
电源电压
14 - 26
14 - 26V
平均供应电流
50000
50000uA
最大供应电流
320000
320000uA
接口
RS485
RS485
尺寸 (长x宽x高)
101.1 x 24.4 x 91
101.1 x 24.4 x 91mm

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