高度重复性的气体流量控制,确保仪器最佳性能

感受传感器的与众不同之处

仪器可靠性强可重复性高

准确、可重复地控制注入的气体流量对于结果可靠度和仪器稳健性至关重要。

反应快速的低流量测量保证过程可控

Sensirion的质量流量控制器反应可达毫秒程度,可实现过程高度受控,流量甚至可以低至毫升/分钟。

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