规范
| 质量流量 | |||
|---|---|---|---|
| 满量程流速 1, 2 and 5 | 1, 2 and 5 | slm | |
| 满量程流速 50, 100, 200 and 500 | 50, 100, 200 and 500 | sccm | |
| 准确度 0.2%FS or 2% SP | 0.2%FS or 2% SP | ||
| 最大工作压力 10 | 10 | bar | |
| 校准 Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 | Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 | flow | |
| 流体连接器端口 Downmount | Downmount |
| 通用的 | |||
|---|---|---|---|
| 电源电压 14 - 26.4 | 14 - 26.4 | V | |
| 平均供应电流 50000 | 50000 | uA | |
| 最大供应电流 320000 | 320000 | uA | |
| 接口 RS485 | RS485 | ||
| 尺寸 (长x宽x高) 34 x 25 x 62.2 | 34 x 25 x 62.2 | mm |
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