SFC5460

Versatile MFC for OEM projects with high unit quantities

SFC5400质量流量控制器以优异的精度、长期稳定性和可重复性测量和控制质量流量,覆盖宽动态测量范围。SFC5400可高度配置,其外壳由金属制成。此外,流量控制器可使用各种电气接口和各种流体连接件,测量50 sccm到200 slm的最大流量。传感器信号可在芯片上直接转换成100%校准和经温度补偿的数字信号。多气体校准可存储在单个器件上。此外,流量控制器还可检查激活的气体校准与实际气体是否匹配。SFC5400的通用性使之成为了工业和医疗应用的理想解决方案。 SFC5400质量流量控制器与所有传感器产品一样,依赖创新的CMOSens® 技术,在一个CMOS硅芯片上集成了高精度传感器元件及模拟和数字处理电路,可保证优异的性能。配合优质材料,SFC5400可实现持久稳定、快速和高度精确的流量控制。 SFC5400质量流量控制器也提供无阀版本。SFM5400质量流量计与质量流量控制器具有相同性能特性,可用在类似应用当中,SFC5400和SFM5400可完美组合在一起。在SFM5400网站,您可以找到关于质量流量控制器的更多信息和详细规格。 对于大批量的项目,我们可根据您的具体要求调整或开发您需要的质量流量控制器。

规范

质量流量
满量程流速
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 and 10 slm
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 and 10 slmslm
满量程流速
20 and 50 and 100 sccm
20 and 50 and 100 sccmsccm
准确度
0.08% FS or 0.8% SP
0.08% FS or 0.8% SP
最大工作压力
5
5bar
校准
Air, H2, O2, He, Ar, CO2 and N2 and O2 flow
Air, H2, O2, He, Ar, CO2 and N2 and O2 flowflow
流体连接器端口
Swagelok, VCR, VCO, W-Seal, Downmount
Swagelok, VCR, VCO, W-Seal, Downmount
通用的
电源电压
14 - 26
14 - 26V
平均供应电流
50000
50000uA
最大供应电流
320000
320000uA
接口
RS485
RS485
尺寸 (长x宽x高)
101.1 x 24.4 x 91
101.1 x 24.4 x 91mm

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