Want more detailed information?
Download our onepager on thin film deposition – stable and precise control of gases during deposition processes – for free.
精确光刻胶涂覆剂量
我们的传感器如何发挥作用
精确剂量
Sensirion液体流量传感器可测量光刻胶的微小电流，从而在半导体制造过程中实现精确的光阻材料定量。
持续监测
实时测量功能实现对制造过程的持续监测。可精准检测制造过程中的质量变化，也可通过早期干预措施预防制造错误。
专为半导体设计
传感器适用于半导体应用，可满足兼容性、质量以及可靠性等所有要求。
为什么选择Sensirion
用于先进设备
全球半导体领先企业在生产的旋涂机中使用我们的液体流量传感器进行光刻胶定量和监测。
了解相关传感器
活跃
SLQ-QT105
高纯度烃类液体流量传感器（最高 120 ml/min）
- 传感器
- 液体流量
活跃
SLQ-QT500
高粘度液体流量传感器（最高120 ml/min）
- 传感器
- 液体流量
Want more detailed information?
Download our onepager on thin film deposition – stable and precise control of gases during deposition processes – for free.
