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名称	説明	シリーズ	カテゴリ
SFC5460	Versatile MFC for OEM projects with high unit quantities	SFC5400 マスフローコントローラー	マスフローコントローラー
SFC4000	SFC5400マスフローコントローラーの先代機	SFC4x00 マスフローコントローラー	マスフローコントローラー
SFC5400	多用途マスフローコントローラー	SFC5400 マスフローコントローラー	マスフローコントローラー

名称	シリーズ	日付	種類	サイズ
STEP file SFC5400 10.2021 ZIP 3.2 MB	マスフローコントローラー / SFC5400 / SFM5400	10.2021	ZIP	3.2 MB
Datasheet SFC5400/SFM5400 05.2023 PDF 798.8 KB	ガスフローセンサー / マスフローコントローラー / SFC5400 / SFM5400	05.2023	PDF	798.8 KB