SFM5400
高精度、構成可能、高速、マルチガスフローセンサー
マスフローメーター「SFM5400」は高精度(誤差<1%)、長期安定性と高い繰り返し精度、また広いダイナミックレンジを備えています。マスフローメーター「SFM5400」は金属性のボディーでできており、多様な継手とインターフェースに対応し50sccmから200slmまでの測定が可能です。「SFM5400」センサー信号はデジタル化され、完全な校正と温度補償が施されます。多様なガス校正は各デバイスに記憶され、測定しようとしているガスがマスフローメーターに校正されているガスと適合するか確認することができます。マスフローメーター「SFM5400」は産業向け医療向けアプリケーションに理想的なソリューションです。
高性能なマスフローメーター「SFM5400」は、センサー素子、信号処理回路が1つのCMOSチップ上に統合されている特許取得済みCMOSens®技術を活用しています。高品質材料との組み合わせで、その結果安定した耐久性、高速で高精度なマスフローメーターとなっています。
マスフローメーター「SFM5400」はマスフローコントローラー「SFC5400」のバルブのないバージョンです。マスフローコントローラー「SFC5400」はマスフローメーターと同じ性能特性となっており、類似したアプリケーションに使用され、これら2つの製品は理想的な組み合わせです。
※ マスフローコントローラー「SFC5400」に関してのより詳しい情報はこちらをご確認ください。
仕様
マスフロー | |||
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フルスケール流量 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 | 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 | slm | |
精度 0.08% FS or 0.8% SP | 0.08% FS or 0.8% SP | ||
最高使用圧力 10 | 10 | bar | |
キャリブレーション Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 | Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 | flow | |
流体コネクタポート Swagelock, VCO, VCR, Downmount | Swagelock, VCO, VCR, Downmount |
汎用 | |||
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供給電圧 14 - 26.4 | 14 - 26.4 | V | |
平均供給電流 50000 | 50000 | uA | |
最大供給電流 320000 | 320000 | uA | |
インターフェイス Analog voltage, Analog current, Device net, IO link, RS485 | Analog voltage, Analog current, Device net, IO link, RS485 | ||
サイズ (LxWxH) 101.1 x 24.4 x 91 | 101.1 x 24.4 x 91 | mm |
ダウンロード
センサーの評価
このセンサーを評価するために、以下の製品を購入します。
各ビューワーソフトをダウンロードして、測定を開始します
ダウンロードセンターへ評価キットでセンサーのテストが簡単に始められます
開始までの流れ
アプリケーション用のスマートセンサー
センシリオンのセンサーソリューションは、幅広いアプリケーションと市場で使用されています。当社の信頼性の高い環境センサーとフローセンサーは、エネルギー効率を改善し、健康を増進し、安全性と快適性を確保します。