SFM5400

高精度、構成可能、高速、マルチガスフローセンサー

マスフローメーター「SFM5400」は高精度(誤差<1%)、長期安定性と高い繰り返し精度、また広いダイナミックレンジを備えています。マスフローメーター「SFM5400」は金属性のボディーでできており、多様な継手とインターフェースに対応し50sccmから200slmまでの測定が可能です。「SFM5400」センサー信号はデジタル化され、完全な校正と温度補償が施されます。多様なガス校正は各デバイスに記憶され、測定しようとしているガスがマスフローメーターに校正されているガスと適合するか確認することができます。マスフローメーター「SFM5400」は産業向け医療向けアプリケーションに理想的なソリューションです。 高性能なマスフローメーター「SFM5400」は、センサー素子、信号処理回路が1つのCMOSチップ上に統合されている特許取得済みCMOSens®技術を活用しています。高品質材料との組み合わせで、その結果安定した耐久性、高速で高精度なマスフローメーターとなっています。 マスフローメーター「SFM5400」はマスフローコントローラー「SFC5400」のバルブのないバージョンです。マスフローコントローラー「SFC5400」はマスフローメーターと同じ性能特性となっており、類似したアプリケーションに使用され、これら2つの製品は理想的な組み合わせです。 ※ マスフローコントローラー「SFC5400」に関してのより詳しい情報はこちらをご確認ください。

仕様

マスフロー
フルスケール流量
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100slm
精度
0.08% FS or 0.8% SP
0.08% FS or 0.8% SP
最高使用圧力
10
10bar
キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8flow
流体コネクタポート
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
汎用
供給電圧
14 - 26.4
14 - 26.4V
平均供給電流
50000
50000uA
最大供給電流
320000
320000uA
インターフェイス
Analog voltage, Analog current, Device net, IO link, RS485
Analog voltage, Analog current, Device net, IO link, RS485
サイズ (LxWxH)
101.1 x 24.4 x 91
101.1 x 24.4 x 91mm

ダウンロード

Datasheet SFC5400/SFM5400

05/2023

ファイル

798.8 KB

データシート05/2023PDF798.8 KB
Mounting Plate SFX54xx

07/2022

ファイル

168.2 KB

Drawings/CAD07/2022STEP168.2 KB
STEP file SFC5400

ファイル

3.2 MB

Drawings/CADZIP3.2 MB
STEP file SFM5400

07/2022

ファイル

3.7 MB

Drawings/CAD07/2022ZIP3.7 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx

07/2023

ファイル

869.9 KB

アプリケーションノート07/2023PDF869.9 KB
Reference and flow conversions

09/2021

ファイル

293.7 KB

アプリケーションノート09/2021PDF293.7 KB
Reference and flow conversions calculator

ファイル

30.3 KB

アプリケーションノートXLSX30.3 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx

ファイル

665.2 KB

アプリケーションノートPDF665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx

09/2021

ファイル

369.3 KB

ユーザーガイド09/2021PDF369.3 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx

07/2022

ファイル

1002.3 KB

ユーザーガイド07/2022PDF1002.3 KB
SFC5xxx DeviceNet communication interface reference

03/2023

ファイル

796.4 KB

ユーザーガイド03/2023PDF796.4 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx

ファイル

1.3 MB

ユーザーガイドPDF1.3 MB
Python driver SFC5xxx/SFM5xxx

Link

ソフトウェアリンク
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx

06/2022

ファイル

ソフトウェア06/2022ファイル名
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

ファイル

1.7 MB

ソフトウェア03/2022ZIP1.7 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx

04/2022

ファイル

1.1 MB

ソフトウェア04/2022ZIP1.1 MB
REACH and RoHS declaration SFM/SGM

01/2025

ファイル

104.2 KB

証明書01/2025PDF104.2 KB
Gas flow sensors brochure

01/2024

ファイル

622.9 KB

フライヤー01/2024PDF622.9 KB
Mass flow controllers brochure chinese

06/2024

ファイル

633.9 KB

フライヤー06/2024PDF633.9 KB

センサーの評価

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