SFM6000D-20slm
優れた価格性能比、流通、20 slm
SFM6000 は、SFC6000 マスフローコントローラーのバルブレス姉妹品で、優れた性能をさらに低価格で提供します。
SFC6000マスフローコントローラーはセンシリオン社の次世代マスフローコントローラーで、比類のない価格性能比と納期が8週間という非常に魅力的な製品です。競合他社が納期を30～53週間に設定している一方で、SFC6000のサンプルは短納期で入手できます。また、あらかじめ校正が決められた SFC6000の一部製品はカタログ配布で入手できます。
SFC6000は非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化できます。これは、特にポータブルデバイスにとって決定的な利点となります。さらに、再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮します。SFC6000 は集積化が進み、使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢です。
熱質量測定の原理をベースに、実績のあるCMOSens®MEMS技術を採用する、センシリオンはクラス最高の性能と応答速度を備えたマスフローコントローラーを提供します。これは、市場に流通する他のほとんどのデバイスとは異なり、ドリフトせず、サービスの再調整も不要です。
用途：
- 半導体： フロント オープニング ユニファイド ポッド （FOUP）、ガラスコーティングおよび処理
- 分析機器：ガスクロマトグラフィー、バイオリアクター
- 医療機器: 麻酔、換気、人工心肺、N2O療法
- 産業オートメーション
仕様
| マスフロー | |||
|---|---|---|---|
| フルスケール流量 20 | 20 | slm | |
| フルスケール流量 20000 | 20000 | sccm | |
| 精度 0.2% FS or 2% SP | 0.2% FS or 2% SP | ||
| 最高使用圧力 10 | 10 | bar | |
| キャリブレーション Air, N₂, O₂, N₂O, Ar and CO₂ | Air, N₂, O₂, N₂O, Ar and CO₂ | flow | |
| 流体コネクタポート Push-in 6mm, downmount | Push-in 6mm, downmount |
| 汎用 | |||
|---|---|---|---|
| 供給電圧 22.8 - 25.2 | 22.8 - 25.2 | V | |
| 平均供給電流 10 | 10 | mA | |
| 最大供給電流 20 | 20 | mA | |
| インターフェイス I²C, RS485 | I²C, RS485 | ||
| サイズ (LxWxH) 74 x 40 x 20 | 74 x 40 x 20 | mm |
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センサーの評価
このセンサーを評価するために、以下の製品を購入します。
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