SFM6000-OEM

優れた価格性能比、カスタマイズ可能

SFM6000 は、SFC6000 マスフローコントローラーのバルブレス姉妹品で、優れた性能をさらに低価格で提供します。 SFC6000マスフローコントローラーはセンシリオン社の次世代マスフローコントローラーで、比類のない価格性能比と納期が8週間という非常に魅力的な製品です。競合他社が納期を30~53週間に設定している一方で、SFC6000のサンプルは短納期で入手できます。また、あらかじめ校正が決められた SFC6000の一部製品はカタログ配布で入手できます。 SFC6000は非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化できます。これは、特にポータブルデバイスにとって決定的な利点となります。さらに、再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮します。SFC6000 は集積化が進み、使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢です。 熱質量測定の原理をベースに、実績のあるCMOSens®MEMS技術を採用する、センシリオンはクラス最高の性能と応答速度を備えたマスフローコントローラーを提供します。これは、市場に流通する他のほとんどのデバイスとは異なり、ドリフトせず、サービスの再調整も不要です。 用途: - 半導体: フロント オープニング ユニファイド ポッド (FOUP)、ガラスコーティングおよび処理 - 分析機器:ガスクロマトグラフィー、バイオリアクター - 医療機器: 麻酔、換気、人工心肺、N2O療法 - 産業オートメーション

仕様

マスフロー
フルスケール流量
2, 5, 20 and 50
2, 5, 20 and 50slm
フルスケール流量
500
500sccm
精度
0.2% FS or 2% SP
0.2% FS or 2% SP
最高使用圧力
10
10bar
キャリブレーション
Air, N₂, O₂, N₂O, Ar, CO₂ and other non-aggressive gasses
Air, N₂, O₂, N₂O, Ar, CO₂ and other non-aggressive gassesflow
流体コネクタポート
Push-in 6mm, downmount
Push-in 6mm, downmount
汎用
供給電圧
22.8 - 25.2
22.8 - 25.2V
平均供給電流
10
10mA
最大供給電流
20
20mA
インターフェイス
Analog voltage, I²C, RS485
Analog voltage, I²C, RS485
サイズ (LxWxH)
74 x 21 x 20
74 x 21 x 20mm

センサーの評価

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