SFC3000

マスフローコントローラー「SFC3000」は、広い範囲のガスフローを高速かつ正確に制御することができます。革新的なCMOSens®技術を搭載し、高精度・高速整定時間を実現します。デジタル校正され、温度補償されたセンサー信号は、デジタル制御回路でバルブを制御する信号に直接変換されます。 SFC3000は、フルデジタルの小型マスフローコントローラーで、量産型のOEMアプリケーションに適しています。安定性と再現性に優れ、分析測定機器に最適です。複数のガスタイプや制御範囲をソフトウェアで校正し、切り替えることができます。