SFC5400
多用途マスフローコントローラー
マスフローコントローラー「SFC5400」は、優れた精度、長期安定性、再現性で質量流量を測定および制御し、広いダイナミックレンジで測定可能です。設定変更が自在な「SFC5400」の本体ボディーは金属製です。さらに、様々なインターフェースと様々な流体接続が可能で、50sccm~200slmの最大流量を測定できます。センサー信号は、チップ上で校正、温度補償されたデジタル信号に直接変換されます。複数のガス校正データを1つのデバイスに保存できます。さらに、マスフローコントローラーは、動作中のガス校正値が、測定している実際のガスと一致するかどうかをチェックすることもできます。マスフローコントローラー「SFC5400」は汎用性が高いので、産業機器および医療アプリケーションに理想的なソリューションとなります。 マスフローコントローラー「SFC5400」は、当社の全てのセンサーと同様に、高精度センサー素子とアナログおよびデジタル信号処理回路を1つのCMOSチップ上に統合し、優れた性能を発揮する画期的なCMOSens®技術を基にしています。高品質の材料と組み合わせることで、耐久性の高い、非常に高速で高精度なマスフローコントローラーとなっています。 マスフローコントローラー「SFC5400」にはバルブのないバージョンもあります。マスフローメーター「SFM5400」は、マスフローコントローラーと同じ性能、特性を持ち、同様のアプリケーションで使用されますので、これらを組み合わせて使用することも可能です。 ※マスフローメーター「SFM5400」に関してのより詳しい情報はこちらをご確認ください。 所要数量の多いお客様のプロジェクトには、お客様の特定のご要望に合わせてマスフローコントローラーを開発いたします。
仕様
| マスフロー | |||
|---|---|---|---|
| フルスケール流量
1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100
| 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 | slm | |
| フルスケール流量
50, 100, 200 and 500
| 50, 100, 200 and 500 | sccm | |
| 精度
0.08% FS or 0.8% SP
| 0.08% FS or 0.8% SP | ||
| 最高使用圧力
5
| 5 | bar | |
| キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8
| Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 | flow | |
| 流体コネクタポート
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
| Swagelock, VCO, VCR, Downmount |
| Generic | |||
|---|---|---|---|
| 供給電圧
14 - 26.4
| 14 - 26.4 | V | |
| 平均供給電流
50000
| 50000 | uA | |
| 最大供給電流
320000
| 320000 | uA | |
| インターフェイス
Analog voltage, Analog current, Device net, IO link, RS485
| アナログ電圧出力,アナログ電流,デバイスネット,IOリンク,RS485 | ||
| サイズ (LxWxH)
101.1 x 24.4 x 91
| 101.1 x 24.4 x 91 | mm³ |
ダウンロード
センサーの評価
このセンサーを評価するために、以下の製品を購入します。
| 名称 | 説明 | シリーズ | カテゴリ |
|---|---|---|---|
 EK-F5x | SFCおよびSFM評価キットSFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx | EK-F5x | マスフローコントローラー |
各ビューワーソフトをダウンロードして、測定を開始します
ダウンロードセンターへ評価キットでセンサーのテストが簡単に始められます
開始までの流れ最新情報 マスフローコントローラー
SFC6000-OEM
優れた価格性能比、カスタマイズ可能
- センサー
- マスフローコントローラー
SFC6000D-50slm
優れた価格性能比、流通、50 slm
- センサー
- マスフローコントローラー
SFC6000D-20slm
優れた価格性能比、流通、20 slm
- センサー
- マスフローコントローラー
SFC6000D-5slm
優れた価格性能比、流通、5 slm
- センサー
- マスフローコントローラー
SFC5460
Versatile MFC for OEM projects with high unit quantities
- センサー
- マスフローコントローラー
SFC5500-2slm
汎用マスフローコント ローラー、オンライン 流通、2 slm
- センサー
- マスフローコントローラー
SFC5500-50sccm
汎用マスフローコント ローラー、オンライン 流通、50sccm
- センサー
- マスフローコントローラー
アプリケーション用のスマートセンサー
センシリオンのセンサーソリューションは、幅広いアプリケーションと市場で使用されています。当社の信頼性の高い環境センサーとフローセンサーは、エネルギー効率を改善し、健康を増進し、安全性と快適性を確保します。