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GC制御を改善する集積デジタルフローセンシングソリューション
当社センサーは小型なフォームファクタで、ヘリウム、アルゴン、窒素などの校正済みガスによるデジタル出力が可能な高集積化されたソリューションを提供します。
サーマル技術により、1ml/min以下の流量まで測定できる高い再現性を提供できるため、機器操作の信頼性を最大限高めることができます。
サーマル技術に基づく高感度測定により、目詰まり、バルブの固着、ポンプの摩耗など、ダウンタイムにつながる欠陥を洞察することができます。
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