质量流量控制器

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我们的质量流量控制器可在宽广测量范围内提供精确且可重复的质量流量测量与控制。凭借多功能设计和高度可配置性，可满足不同流量范围、流体连接及多种接口的需求。 Sensirion质量流量控制器适用于工业自动化、过程控制及医疗技术等对精度与可靠性要求严苛的领域。凭借经现场验证的卓越性能与稳定品质，我们的质量流量传感器为苛刻环境下的精准流量控制提供可靠解决方案。 探索我们的质量流量控制器产品组合，寻找契合您特定应用需求的配置方案。

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    • EK-F5x

      1

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    • SEK-STS4x

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    • SEN6x

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    • SENSEVAL-SCB4XV1

      0

    • SENSEVAL-SHT4XV1

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    • SFM3xxx

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    • SFM3xxx-AW/D

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    • SFM4xxx

      0

    • SFM5xxx

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    • SFM6000-OEM

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    • SFx filter cap

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    • SGD43S-M3-Sx

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    • SGM53xx

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    • SGM63xx

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    • SGM64xx

      0

    • SGP30

      0

    • SGP4x

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    • SGPC3

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    • SHT1x

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    • SHT2x

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    • SHT31 Smart Gadget

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    • SHT3x

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    • SHT43 DemoBoard

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    • SHT4x

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    • SHT4xA

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    • SHT4xI

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    • SHT4x Smart Gadget

      0

    • SHT7x

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    • SHT85

      0

    • SHTCx

      0

    • SHTWx

      0

    • SLD3P

      0

    • SLF3S

      0

    • SLF3x

      0

    • SLG

      0

    • SLI

      0

    • SLQ-QT105

      0

    • SLQ-QT500

      0

    • SLS-1500

      0

    • SPS30

      0

    • STC31

      0

    • STC42x

      0

    • STCC4

      0

    • STS2x

      0

    • STS3x

      0

    • STS4x

      0

    • STS4xA

      0

    • SVM30

      0
  • 类

    • 评估套件

      1

    • 传感器

      15

    • 附件

      0

    • 开发板

      0

    • 参考设计

      0
  • 产品状态

    • 活跃

      14

    • 不建议用于新设计

      1

    • 过时的

      1

    • 即将到来

      0

    • 新

      0

    • 最后一次购买

      0
  • 信号输出

    • I²C

      4

    • RS485

      14

    • Device net

      6

    • IO link

      1

    • Analog voltage

      3

    • Analog current

      1

    • Sensibus

      0

    • PWM

      0

    • SDM

      0

    • UART

      0

    • RS232

      0

    • Switch

      0

    • ModBus

      0
SFC6000-OEM

SFC6000-OEM

高性价比质量流量控制器，可定制版本

满量程流速
2, 5, 20 and 50 slm
准确度
0.2% FS or 2% SP
校准
Air, N₂, O₂, N₂O, Ar, CO₂ and other non-aggressive gasses flow
最大工作压力
10 bar
流体连接器端口
Push-in 6mm, downmount
接口
Analog voltage, I²C, RS485
电源电压
22.8 - 25.2 V
尺寸 (长x宽x高)
102 x 45 x 20 mm
  • 传感器
  • 质量流量控制器
SFC6000D-5slm

SFC6000D-5slm

高性价比，发行版本，5 slm

满量程流速
5 slm
准确度
0.2% FS or 2% SP
校准
Air, N₂, O₂, N₂O, Ar and CO₂ flow
最大工作压力
10 bar
流体连接器端口
Push-in 6mm, downmount
接口
I²C, RS485
电源电压
22.9 - 25.9 V
尺寸 (长x宽x高)
102 x 45 x 20 mm
  • 传感器
  • 质量流量控制器
SFC6000D-50slm

SFC6000D-50slm

高性价比，发行版本，50 slm

满量程流速
50 slm
准确度
0.2% FS or 2% SP
校准
Air, N₂, O₂, N₂O and Ar and CO₂ flow
最大工作压力
10 bar
流体连接器端口
Push-in 6mm, downmount
接口
I²C, RS485
电源电压
22.8 - 25.2 V
尺寸 (长x宽x高)
102 x 45 x 20 mm
  • 传感器
  • 质量流量控制器
SFC6000D-20slm

SFC6000D-20slm

高性价比，发行版本，20 slm

满量程流速
20 slm
准确度
0.2% FS or 2% SP
校准
Air, N₂, O₂, N₂O, Ar and CO₂ flow
最大工作压力
10 bar
流体连接器端口
Push-in 6mm, downmount
接口
I²C, RS485
电源电压
22.8 - 25.2 V
尺寸 (长x宽x高)
102 x 45 x 20 mm
  • 传感器
  • 质量流量控制器
SFC5500-50sccm

SFC5500-50sccm

多功能质量流量控制器，线上分销，50 sccm

满量程流速
0.05 slm
准确度
0.2%FS or 2% SP
校准
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O flow
最大工作压力
10 bar
流体连接器端口
Legris
接口
Device net, RS485
电源电压
14 - 26.4 V
尺寸 (长x宽x高)
105 x 38.5 x 90.5 mm
  • 传感器
  • 质量流量控制器
SFC5500-2slm

SFC5500-2slm

多功能质量流量控制器，线上分销，2slm

满量程流速
2 slm
准确度
0.08% FS or 0.8% SP
校准
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O flow
最大工作压力
8 bar
流体连接器端口
Legris
接口
Device net, RS485
电源电压
14 - 26.4 V
尺寸 (长x宽x高)
105 x 38.5 x 90.5 mm
  • 传感器
  • 质量流量控制器
SFC5500-200slm

SFC5500-200slm

多功能质量流量控制器，线上分销，200 slm

满量程流速
200 slm
准确度
0.08% FS or 0.8% SP
校准
Air, O2 and N2 flow
最大工作压力
5 bar
流体连接器端口
Legris
接口
Device net, RS485
电源电压
14 - 26.4 V
尺寸 (长x宽x高)
135 x 24.6 x 91 mm
  • 传感器
  • 质量流量控制器
SFC5500-10slm

SFC5500-10slm

多功能质量流量控制器，线上分销，10 slm

满量程流速
10 slm
准确度
0.08% FS or 0.8% SP
校准
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O flow
最大工作压力
5 bar
流体连接器端口
Legris
接口
Device net, RS485
电源电压
14 - 26.4 V
尺寸 (长x宽x高)
115 x 24.6 x 91 mm
  • 传感器
  • 质量流量控制器
SFC5500-0.5slm

SFC5500-0.5slm

多功能质量流量控制器，线上分销，0.5 slm

满量程流速
0.5 slm
准确度
0.08% FS or 0.8% SP
校准
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O flow
最大工作压力
5 bar
流体连接器端口
Legris
接口
Device net, RS485
电源电压
14 - 26.4 V
尺寸 (长x宽x高)
115 x 24.6 x 91 mm
  • 传感器
  • 质量流量控制器
SFC5460

SFC5460

Versatile MFC for OEM projects with high unit quantities

满量程流速
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 and 10 slm slm
准确度
0.08% FS or 0.8% SP
校准
Air, H2, O2, He, Ar, CO2 and N2 and O2 flow flow
最大工作压力
5 bar
流体连接器端口
Swagelok, VCR, VCO, W-Seal, Downmount
接口
RS485
电源电压
14 - 26 V
尺寸 (长x宽x高)
101.1 x 24.4 x 91 mm
  • 传感器
  • 质量流量控制器
SFC5400

SFC5400

多功能质量流量控制器

满量程流速
1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 slm
准确度
0.08% FS or 0.8% SP
校准
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 flow
最大工作压力
5 bar
流体连接器端口
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
接口
Analog voltage, Analog current, Device net, IO link, RS485
电源电压
14 - 26.4 V
尺寸 (长x宽x高)
101.1 x 24.4 x 91 mm
  • 传感器
  • 质量流量控制器
SFC5330

SFC5330

小型质量流量控制器（成本敏感，大批量OEM应用）

满量程流速
1, 2 and 5 slm
准确度
0.2%FS or 2% SP
校准
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 flow
最大工作压力
10 bar
流体连接器端口
Downmount
接口
RS485
电源电压
14 - 26.4 V
尺寸 (长x宽x高)
34 x 25 x 62.2 mm
  • 传感器
  • 质量流量控制器
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