存储半导体芯片的核心工具 (FOUP)
储存半导体芯片的重要工具，也是洁净室环境的一个组成部分
Sensirion的产品在尺寸、精度和性能上存在优势，可以容易地集成到晶圆载体系统中，从而提高系统的可靠性和性能。
我们的传感器如何发挥作用
实时监控
FOUP可以持续监测湿度、氧气和空气中的分子污染物等参数，避免颗粒在晶圆表面沉积和氧化。
安全运输和自动化处理
自动化可确保晶圆安全送到洁净室，同时尽可能降低处理不当的风险。最终优化制造工艺并提高吞吐量。
精确的环境控制
通过清洗FOUP并注入氮气，控制存储晶圆的环境。在预处理过程中也可以注入其他气体，用于生产更精细的芯片（例如GAA芯片和3nm芯片）。
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高精度、低成本
精确控制FOUP内的气体流动可以防止损坏精细结构。还避免了在清洗循环期间使用过量的氮气，从而降低成本。
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精确控制FOUP内的气体流动可以防止损坏精细结构。还避免了在清洗循环期间使用过量的氮气，从而降低成本。
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