规范
| 气体流量 | |||
|---|---|---|---|
| 满量程流速 0 - 20 | 0 - 20 | slm | |
| 典型精度 ±3% m.v. | ±3% m.v. | ||
| 校准 Air and N₂ | Air and N₂ | ||
| 传感器输出 Flow and T | Flow and T | ||
| 最大工作压力 6 | 6 | bar | |
| 流体连接器端口 Legris carstick (6 mm) | Legris carstick (6 mm) |
| 通用的 | |||
|---|---|---|---|
| 电源电压 3.5 - 9 | 3.5 - 9 | V | |
| 最大供应电流 12500 | 12500 | uA | |
| 接口 I²C | I²C | ||
| 尺寸 (长x宽x高) 93 x 31.88 x 27.2 | 93 x 31.88 x 27.2 | mm |
