SFM5300
高精度、構成可能、高速、OEM用デジタルフローセンサー
マスフローメーター「SFM5300」は高精度(誤差<2%)、長期安定性と高い繰返し精度で流量の測定を行い、広いダイナミック測定レンジとコンパクトサイズを可能にしました。
マスフローメーター「SFM5300」はダウンマウント接続とデジタルインターフェース(I2C)で、使用される金属はマスフローメーター「SFM5400」とほぼ同じで、価格要求の厳しい大量生産(OEMプロジェクト)向けです。
高性能なマスフローメーター「SFM5300」はセンサー素子、信号処理回路が1つのCMOSチップ上に統合されている特許取得済みCMOSens®技術を活用しています。高品質材料との組み合わせで、その結果安定した耐久性、高速で高精度なマスフローメーターとなっています。
マスフローメーター「SFM5300」はマスフローコントローラー「SFC5300」のバルブのないバージョンです。マスフローコントローラー「SFC5300」はマスフローメーターと同じ性能特性となっており、類似したアプリケーションに使用され、これら2つの製品は理想的な組み合わせです。
※ マスフローコントローラー「SFC5300」に関してのより詳しい情報はこちらご確認ください。
仕様
| マスフロー | |||
|---|---|---|---|
| フルスケール流量 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 | 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 | slm | |
| 精度 0.2%FS or 2% SP | 0.2%FS or 2% SP | ||
| 最高使用圧力 10 | 10 | bar | |
| キャリブレーション Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 | Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 | flow | |
| 流体コネクタポート Downmount | Downmount |
| 汎用 | |||
|---|---|---|---|
| 供給電圧 14 - 26.4 | 14 - 26.4 | V | |
| 平均供給電流 50000 | 50000 | uA | |
| 最大供給電流 320000 | 320000 | uA | |
| インターフェイス RS485 | RS485 | ||
| サイズ (LxWxH) 48 x 25 x 79.5 | 48 x 25 x 79.5 | mm |
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センサーの評価
このセンサーを評価するために、以下の製品を購入します。
各ビューワーソフトをダウンロードして、測定を開始します
ダウンロードセンターへ評価キットでセンサーのテストが簡単に始められます
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