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	名称	产品介绍	系列	类别
	SFC5330	小型质量流量控制器（成本敏感，大批量OEM应用）	SFC5300 质量流量控制器	质量流量控制器
	SFC3000	旧版SFC5300质量流量控制器	SFC3x00 质量流量控制器	质量流量控制器
	SFC5300	质量流量控制器（成本敏感、大批量OEM应用）	SFC5300 质量流量控制器	质量流量控制器

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名称	系列	日期	类型	规模
STEP file SFC5300 10.2021 ZIP 4.7 MB	质量流量控制器 / SFC5300	10.2021	ZIP	4.7 MB
Datasheet SFC5300/SFM5300 & SFC5330/SFM5330 05.2023 PDF 895.6 KB	气体流量 / 质量流量控制器 / SFC5300 / SFM5300 / SFM5330	05.2023	PDF	895.6 KB