| 质量流量 | |||
|---|---|---|---|
| 准确度±0.2sccm ± 2% SP | ±0.2sccm ± 2% SP | ||
| 最大工作压力5bar | 5 | bar | |
| 校准Air, He, H2 and Arflow | Air, He, H2 and Ar | flow | |
| 流体连接器端口Downmount | Downmount |
| 通用的 | |||
|---|---|---|---|
| 电源电压14.25 - 15.25V | 14.25 - 15.25 | V | |
| 最大供应电流330000uA | 330000 | uA | |
| 接口RS485 | RS485 | ||
| 尺寸 (长x宽x高)70 x 25 x 73mm | 70 x 25 x 73 | mm |

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