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      SFM6000D-20slm

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      • •SFM6000-OEM

      高性价比,发行版本,20 slm

      SFM6000是SFC6000质量流量控制器的无阀姐妹版,以更低的价格提供卓越的性能。 SFC6000质量流量控制器作为Sensirion新一代质量流量控制器,性价比卓越。在目前行业交货时间一般在 30 至 53 周的大环境下,SFC6000交货时间仅八周,样品可在两到四周内送达。此外,在线上渠道选定SFC6000配置,可实现在线订购,送货上门,方便进行初始测试和评估。 SFC6000小巧轻便,可以帮助客户优化设备的尺寸和重量。对于便携式设备而言,这是核心优势。此外,SFC6000在重复性、精度、控制范围和响应速度方面表现同样出色。同时,SFC6000 高度集成,并且使用的电子元件数量少,供应链稳定。 Sensirion基于热式测量原理,结合我们成熟的CMOSens® MEMS技术,打造具备一流性能和速度的全新质量流量控制器,与市场上大多数其他设备不同,它零漂移,无需现场重新校准。 应用: -半导体:前开式晶圆传送盒(FOUP),玻璃镀膜和加工 -分析仪器:气相色谱法、生物反应器 -医疗设备:麻醉、通气、心肺机、N2O治疗 -工业自动化
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      规范

      气体流量
      典型精度0.2% FS or 2% SP0.2% FS or 2% SP
      校准Air, N₂, O₂, N₂O, Ar and CO₂Air, N₂, O₂, N₂O, Ar and CO₂
      最大工作压力10bar10bar
      流体连接器端口Push-in 6mm, downmountPush-in 6mm, downmount
      质量流量
      满量程流速20slm20slm
      满量程流速20000sccm20000sccm
      准确度0.2% FS or 2% SP0.2% FS or 2% SP
      最大工作压力10bar10bar
      校准Air, N₂, O₂, N₂O, Ar and CO₂flowAir, N₂, O₂, N₂O, Ar and CO₂flow
      流体连接器端口Push-in 6mm, downmountPush-in 6mm, downmount
      通用
      电源电压22.8 - 25.2V22.8 - 25.2V
      平均供应电流10mA10mA
      最大供应电流20mA20mA
      接口I²C, RS485I²C, RS485
      尺寸 (长x宽x高)74 x 40 x 20mm74 x 40 x 20mm

      下载

      Datasheet SFC6000D/SFM6000D
      • 05/2023•
      • PDF•
      • 1.4 MB
      数据表05/2023PDF1.4 MB
      Documentation I2C Interface SFC6000D and SFM6000D
      • 07/2023•
      • PDF•
      • 820.0 KB
      应用说明07/2023PDF820.0 KB
      Exchange fittings SFC/SFM6000
      • 05/2023•
      • PDF•
      • 449.8 KB
      应用说明05/2023PDF449.8 KB
      SHDLC Interface Reference SFC6xxx and SFM6xxx RS485
      • 05/2023•
      • PDF•
      • 842.0 KB
      应用说明05/2023PDF842.0 KB
      Quick start guide SFC/SFM6000 evaluation kit
      • 01/2023•
      • PDF•
      • 561.9 KB
      用户指南01/2023PDF561.9 KB
      SFX6000 Engineering Guide
      • 07/2023•
      • PDF•
      • 2.0 MB
      用户指南07/2023PDF2.0 MB
      STEP file SFC/SFM6000
      • 03/2023•
      • ZIP•
      • 10.6 MB
      Drawings/CAD03/2023ZIP10.6 MB
      Calibration certification gas flow sensors
      • 01/2023•
      • PDF•
      • 114.2 KB
      证明书01/2023PDF114.2 KB
      REACH and RoHS declaration SFM/SGM
      • 04/2026•
      • PDF•
      • 104.6 KB
      证明书04/2026PDF104.6 KB
      Gas flow sensors brochure
      • 10/2025•
      • PDF•
      • 497.6 KB
      传单10/2025PDF497.6 KB

      评估传感器

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      姓名产品介绍系列类别
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      EK-F5x

      SFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx评估套件

      EK-F5x

      质量流量控制器

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      • SFM6000D-20slm
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