SFM6000 は、SFC6000 マスフローコントローラーのバルブレス姉妹品で、優れた性能をさらに低価格で提供します。 SFC6000マスフローコントローラーはセンシリオン社の次世代マスフローコントローラーで、比類のない価格性能比と納期が8週間という非常に魅力的な製品です。競合他社が納期を30~53週間に設定している一方で、SFC6000のサンプルは短納期で入手できます。また、あらかじめ校正が決められた SFC6000の一部製品はカタログ配布で入手できます。 SFC6000は非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化できます。これは、特にポータブルデバイスにとって決定的な利点となります。さらに、再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮します。SFC6000 は集積化が進み、使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢です。 熱質量測定の原理をベースに、実績のあるCMOSens®MEMS技術を採用する、センシリオンはクラス最高の性能と応答速度を備えたマスフローコントローラーを提供します。これは、市場に流通する他のほとんどのデバイスとは異なり、ドリフトせず、サービスの再調整も不要です。 用途: - 半導体: フロント オープニング ユニファイド ポッド (FOUP)、ガラスコーティングおよび処理 - 分析機器:ガスクロマトグラフィー、バイオリアクター - 医療機器: 麻酔、換気、人工心肺、N2O療法 - 産業オートメーション
マスフロー | |||
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フルスケール流量
20
| 20 | slm | |
フルスケール流量
20000
| 20000 | sccm | |
精度
0.2% FS or 2% SP
| 0.2% FS or 2% SP | ||
最高使用圧力
10
| 10 | bar | |
キャリブレーション
Air, N₂, O₂, N₂O, Ar and CO₂
| Air, N₂, O₂, N₂O, Ar and CO₂ | flow | |
流体コネクタポート
Push-in 6mm, downmount
| Push-in 6mm, downmount |
Generic | |||
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供給電圧
22.8 - 25.2
| 22.8 - 25.2 | V | |
平均供給電流
10
| 10 | mA | |
最大供給電流
20
| 20 | mA | |
インターフェイス
I²C, RS485
| I²C,RS485 | ||
サイズ (LxWxH)
74 x 40 x 20
| 74 x 40 x 20 | mm³ |
このセンサーを評価するために、以下の製品を購入します。
名称 | 説明 | シリーズ | カテゴリ |
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EK-F5x | SFCおよびSFM評価キットSFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx | EK-F5x | マスフローコントローラー |
センシリオンのセンサーソリューションは、幅広いアプリケーションと市場で使用されています。当社の信頼性の高い環境センサーとフローセンサーは、エネルギー効率を改善し、健康を増進し、安全性と快適性を確保します。