SFC5400

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SFC5460

SFC5460

Versatile MFC for OEM projects with high unit quantities

フルスケール流量
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 and 10 slm slm
精度
0.08% FS or 0.8% SP
キャリブレーション
Air, H2, O2, He, Ar, CO2 and N2 and O2 flow flow
最高使用圧力
5 bar
流体コネクタポート
Swagelok, VCR, VCO, W-Seal, Downmount
インターフェイス
RS485
供給電圧
14 - 26 V
サイズ (LxWxH)
101.1 x 24.4 x 91 mm
  • センサー
  • マスフローコントローラー
SFC5400

SFC5400

多用途マスフローコントローラー

フルスケール流量
1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 slm
精度
0.08% FS or 0.8% SP
キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 flow
最高使用圧力
5 bar
流体コネクタポート
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
インターフェイス
Analog voltage, Analog current, Device net, IO link, RS485
供給電圧
14 - 26.4 V
サイズ (LxWxH)
101.1 x 24.4 x 91 mm
  • センサー
  • マスフローコントローラー