仕様
| マスフロー | |||
|---|---|---|---|
| フルスケール流量 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 and 10 slm | 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 and 10 slm | slm | |
| フルスケール流量 20 and 50 and 100 sccm | 20 and 50 and 100 sccm | sccm | |
| 精度 0.08% FS or 0.8% SP | 0.08% FS or 0.8% SP | ||
| 最高使用圧力 5 | 5 | bar | |
| キャリブレーション Air, H2, O2, He, Ar, CO2 and N2 and O2 flow | Air, H2, O2, He, Ar, CO2 and N2 and O2 flow | flow |
| 汎用 | |||
|---|---|---|---|
| 供給電圧 14 - 26 | 14 - 26 | V | |
| 平均供給電流 50000 | 50000 | uA | |
| 最大供給電流 320000 | 320000 | uA | |
| インターフェイス RS485 | RS485 | ||
| サイズ (LxWxH) 101.1 x 24.4 x 91 | 101.1 x 24.4 x 91 | mm |
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センサーの評価
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