SFM5330
High-precision, configurable, fast, digital flow sensor for OEM
仕様
| マスフロー | |||
|---|---|---|---|
| フルスケール流量1, 2 and 5slm | 1, 2 and 5 | slm | |
| フルスケール流量50, 100, 200 and 500sccm | 50, 100, 200 and 500 | sccm | |
| 精度0.2%FS or 2% SP | 0.2%FS or 2% SP | ||
| 最高使用圧力10bar | 10 | bar | |
| キャリブレーションAir, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8flow | Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 | flow | |
| 流体コネクタポートDownmount | Downmount |
| 汎用 | |||
|---|---|---|---|
| 供給電圧14 - 26.4V | 14 - 26.4 | V | |
| 平均供給電流50000uA | 50000 | uA | |
| 最大供給電流320000uA | 320000 | uA | |
| インターフェイスRS485 | RS485 | ||
| サイズ (LxWxH)34 x 25 x 62.2mm | 34 x 25 x 62.2 | mm |
ダウンロード
センサーの評価
このセンサーを評価するために、以下の製品を購入します。
各ビューワーソフトをダウンロードして、測定を開始します
ダウンロードセンターへ評価キットでセンサーのテストが簡単に始められます
開始までの流れ最新情報 ガスフローセンサー
探索
アプリケーション用のスマートセンサー
センシリオンのセンサーソリューションは、幅広いアプリケーションと市場で使用されています。当社の信頼性の高い環境センサーとフローセンサーは、エネルギー効率を改善し、健康を増進し、安全性と快適性を確保します。