SFM6000-OEM

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仕様

マスフロー
フルスケール流量
2, 5, 20 and 50
2, 5, 20 and 50 slm
フルスケール流量
500
500 sccm
精度
0.2% FS or 2% SP
0.2% FS or 2% SP
最高使用圧力
10
10 bar
キャリブレーション
Air, N₂, O₂, N₂O, Ar, CO₂ and other non-aggressive gasses
Air, N₂, O₂, N₂O, Ar, CO₂ and other non-aggressive gasses flow
流体コネクタポート
Push-in 6mm, downmount
Push-in 6mm, downmount
Generic
供給電圧
22.8 - 25.2
22.8 - 25.2 V
平均供給電流
10
10 mA
最大供給電流
20
20 mA
インターフェイス
Analog voltage, I²C, RS485
アナログ電圧出力,I²C,RS485
サイズ (LxWxH)
74 x 21 x 20
74 x 21 x 20 mm³

ダウンロード

名称 種類 日付 ファイル名 サイズ
Datasheet SFC6000D/SFM6000D

05/2023

ファイル

1.4 MB

データシート 05/2023 PDF 1.4 MB
Documentation I2C Interface SFC6000D and SFM6000D

07/2023

ファイル

820.0 KB

アプリケーションノート 07/2023 PDF 820.0 KB
Exchange fittings SFC/SFM6000

05/2023

ファイル

449.8 KB

アプリケーションノート 05/2023 PDF 449.8 KB
SHDLC Interface Reference SFC6xxx and SFM6xxx RS485

05/2023

ファイル

842.0 KB

アプリケーションノート 05/2023 PDF 842.0 KB
Quick start guide SFC/SFM6000 evaluation kit

01/2023

ファイル

561.9 KB

ユーザーガイド 01/2023 PDF 561.9 KB
SFX6000 Engineering Guide

07/2023

ファイル

2.0 MB

ユーザーガイド 07/2023 PDF 2.0 MB
STEP file SFC/SFM6000

03/2023

ファイル

10.6 MB

Drawings/CAD 03/2023 ZIP 10.6 MB
Calibration certification gas flow sensors

01/2023

ファイル

169.8 KB

証明書 01/2023 PDF 169.8 KB
REACH and RoHS declaration SFM/SGM

07/2024

ファイル

98.0 KB

証明書 07/2024 PDF 98.0 KB
Gas flow sensors brochure

01/2024

ファイル

622.9 KB

フライヤー 01/2024 PDF 622.9 KB
Mass flow controllers brochure chinese

06/2024

ファイル

633.9 KB

フライヤー 06/2024 PDF 633.9 KB

センサーの評価

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名称 説明 シリーズ カテゴリ
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SFCおよびSFM評価キットSFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx EK-F5x マスフローコントローラー

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