マスフローメーター「SFM5400」は高精度(誤差<1%)、長期安定性と高い繰り返し精度、また広いダイナミックレンジを備えています。マスフローメーター「SFM5400」は金属性のボディーでできており、多様な継手とインターフェースに対応し50sccmから200slmまでの測定が可能です。「SFM5400」センサー信号はデジタル化され、完全な校正と温度補償が施されます。多様なガス校正は各デバイスに記憶され、測定しようとしているガスがマスフローメーターに校正されているガスと適合するか確認することができます。マスフローメーター「SFM5400」は産業向け医療向けアプリケーションに理想的なソリューションです。 高性能なマスフローメーター「SFM5400」は、センサー素子、信号処理回路が1つのCMOSチップ上に統合されている特許取得済みCMOSens®技術を活用しています。高品質材料との組み合わせで、その結果安定した耐久性、高速で高精度なマスフローメーターとなっています。 マスフローメーター「SFM5400」はマスフローコントローラー「SFC5400」のバルブのないバージョンです。マスフローコントローラー「SFC5400」はマスフローメーターと同じ性能特性となっており、類似したアプリケーションに使用され、これら2つの製品は理想的な組み合わせです。 ※ マスフローコントローラー「SFC5400」に関してのより詳しい情報はこちらをご確認ください。
マスフロー | |||
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フルスケール流量
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100
| 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 | slm | |
精度
0.08% FS or 0.8% SP
| 0.08% FS or 0.8% SP | ||
最高使用圧力
10
| 10 | bar | |
キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8
| Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 | flow | |
流体コネクタポート
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
| Swagelock, VCO, VCR, Downmount |
Generic | |||
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供給電圧
14 - 26.4
| 14 - 26.4 | V | |
平均供給電流
50000
| 50000 | uA | |
最大供給電流
320000
| 320000 | uA | |
インターフェイス
Analog voltage, Analog current, Device net, IO link, RS485
| アナログ電圧出力,アナログ電流,デバイスネット,IOリンク,RS485 | ||
サイズ (LxWxH)
101.1 x 24.4 x 91
| 101.1 x 24.4 x 91 | mm³ |
このセンサーを評価するために、以下の製品を購入します。
名称 | 説明 | シリーズ | カテゴリ |
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EK-F5x | SFCおよびSFM評価キットSFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx | EK-F5x | マスフローコントローラー |
センシリオンのセンサーソリューションは、幅広いアプリケーションと市場で使用されています。当社の信頼性の高い環境センサーとフローセンサーは、エネルギー効率を改善し、健康を増進し、安全性と快適性を確保します。