マスフロー | |||
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フルスケール流量
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100
| 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 | slm | |
精度
0.08% FS or 0.8% SP
| 0.08% FS or 0.8% SP | ||
最高使用圧力
10
| 10 | bar | |
キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8
| Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 | flow | |
流体コネクタポート
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
| Swagelock, VCO, VCR, Downmount |
Generic | |||
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供給電圧
14 - 26.4
| 14 - 26.4 | V | |
平均供給電流
50000
| 50000 | uA | |
最大供給電流
320000
| 320000 | uA | |
インターフェイス
Analog voltage, Analog current, Device net, IO link, RS485
| アナログ電圧出力,アナログ電流,デバイスネット,IOリンク,RS485 | ||
サイズ (LxWxH)
101.1 x 24.4 x 91
| 101.1 x 24.4 x 91 | mm³ |
このセンサーを評価するために、以下の製品を購入します。
名称 | 説明 | シリーズ | カテゴリ |
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EK-F5x | SFCおよびSFM評価キットSFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx | EK-F5x | マスフローコントローラー |
センシリオンのセンサーソリューションは、幅広いアプリケーションと市場で使用されています。当社の信頼性の高い環境センサーとフローセンサーは、エネルギー効率を改善し、健康を増進し、安全性と快適性を確保します。