マスフロー | |||
---|---|---|---|
フルスケール流量
1, 2 and 5
| 1, 2 and 5 | slm | |
フルスケール流量
50, 100, 200 and 500
| 50, 100, 200 and 500 | sccm | |
精度
0.2%FS or 2% SP
| 0.2%FS or 2% SP | ||
最高使用圧力
10
| 10 | bar | |
キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8
| Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 | flow | |
流体コネクタポート
Downmount
| ダウンマウント |
Generic | |||
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供給電圧
14 - 26.4
| 14 - 26.4 | V | |
平均供給電流
50000
| 50000 | uA | |
最大供給電流
320000
| 320000 | uA | |
インターフェイス
RS485
| RS485 | ||
サイズ (LxWxH)
34 x 25 x 62.2
| 34 x 25 x 62.2 | mm³ |
このセンサーを評価するために、以下の製品を購入します。
名称 | 説明 | シリーズ | カテゴリ |
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EK-F5x | SFCおよびSFM評価キットSFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx | EK-F5x | マスフローコントローラー |
センシリオンのセンサーソリューションは、幅広いアプリケーションと市場で使用されています。当社の信頼性の高い環境センサーとフローセンサーは、エネルギー効率を改善し、健康を増進し、安全性と快適性を確保します。