SFM5500-0.5slm

複数ガス用高圧マスフローメータ、0.5slm

「SFM5500」マスフローメーターシリーズは、ガスフロー測定においてセンシリオンが歩んできた20年間の優れた実績の集大成です。マイクロ熱量測定原理に基づいて、センシリオンの実績のあるCMOSens® MEMS技術を活用しています。これにより、当社はクラス最高のパフォーマンスと優れた信頼性を備えた先進的なマスフローメーターを作ることができました。本製品は市場に出ているその他機器とは異なり、ドリフトすることがなく、稼働中に再校正する必要がありません。 CMOSens® MEMSフローセンサーが実現する非常に広い測定範囲によって、「SFM5500」シリーズは一台の機器で従来のマスフローメーターの複数の流量範囲に対応できます。金属ボディーを採用しているため、さらに高圧耐性を可能にしています。他社製品と比較して、SFM5500は小流量(最大50 sccmフルスケールフロー)、および大流量のガスフローに適しています。マルチガス校正と交換可能な継ぎ手を組み合わせた「SFM5500」シリーズは、医療、分析、産業の業界の用途に適した標準の既製品として入手可能な市場初のマスフローメーターです。この汎用性により、「SFM5500」シリーズはカタログ販売を通じて購入できます。 「SFM5500」シリーズは、センシリオンのクラス最高のマスフローメーターのSFM5xxxファミリーを補完し、「SFM5400」と同等の最高性能を提供するので、最高の精度、最高速度、および最も広いダイナミックレンジが必要とされる幅広いアプリケーションに適しています。ただし、様々な機能構成が選択可能な「SFM5400」シリーズとは異なり、「SFM5500」シリーズマスフローメーターはあらかじめ決められた複数の組み合わせからお選びいただきます。その他のガス、流量範囲、適合性、インターフェースが必要な場合は、「SFM5400」またはセンシリオンの量産OEMプロジェクト用の最も費用効果の高いソリューションである「SFM5300」をご確認ください。 マスフローコントローラーをお探しの方には、バルブ付き「SFM5500」の姉妹製品の「SFC5500」があります。「SFC5500」も同等の優れたパフォーマンスを発揮します。

仕様

マスフロー
フルスケール流量
0.5
0.5slm
フルスケール流量
500
500sccm
精度
0.08% FS or 0.8% SP
0.08% FS or 0.8% SP
最高使用圧力
10
10bar
キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2Oflow
流体コネクタポート
Legris
Legris
汎用
供給電圧
14 - 26.4
14 - 26.4V
平均供給電流
35000
35000uA
最大供給電流
50000
50000uA
インターフェイス
Device net, RS485
Device net, RS485
サイズ (LxWxH)
105 x 38.5 x 90.5
105 x 38.5 x 90.5mm

ダウンロード

Datasheet SFC5500/SFM5500

02/2024

ファイル

975.3 KB

データシート02/2024PDF975.3 KB
Compatible fittings SFC5500/SFM5500

10/2022

ファイル

193.4 KB

アプリケーションノート10/2022PDF193.4 KB
STEP file SFM5500-50sccm/0.5slm/2slm/10slm

10/2022

ファイル

3.4 MB

Drawings/CAD10/2022STEP3.4 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx

07/2023

ファイル

869.9 KB

アプリケーションノート07/2023PDF869.9 KB
Reference and flow conversions

09/2021

ファイル

293.7 KB

アプリケーションノート09/2021PDF293.7 KB
Reference and flow conversions calculator

ファイル

30.3 KB

アプリケーションノートXLSX30.3 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx

ファイル

665.2 KB

アプリケーションノートPDF665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx

09/2021

ファイル

369.3 KB

ユーザーガイド09/2021PDF369.3 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx

07/2022

ファイル

1002.3 KB

ユーザーガイド07/2022PDF1002.3 KB
SFC5xxx DeviceNet communication interface reference

03/2023

ファイル

796.4 KB

ユーザーガイド03/2023PDF796.4 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx

ファイル

1.3 MB

ユーザーガイドPDF1.3 MB
Python driver SFC5xxx/SFM5xxx

Link

ソフトウェアリンク
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx

06/2022

ファイル

ソフトウェア06/2022ファイル名
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

ファイル

1.7 MB

ソフトウェア03/2022ZIP1.7 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx

04/2022

ファイル

1.1 MB

ソフトウェア04/2022ZIP1.1 MB
REACH and RoHS declaration SFM/SGM

01/2025

ファイル

104.2 KB

証明書01/2025PDF104.2 KB
Gas flow sensors brochure

01/2024

ファイル

622.9 KB

フライヤー01/2024PDF622.9 KB
Mass flow controllers brochure chinese

06/2024

ファイル

633.9 KB

フライヤー06/2024PDF633.9 KB

センサーの評価

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