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Rechtlicher Hinweis© Sensirion AG

SFM5500-10slm

Hochdruck-Massendurchflussmesser für mehrere Gase, 10slm

SFM5500 mass flow meter series represent the culmination of Sensirion’s excellent 20-year track record in measuring gas flow. The device is based on the microthermal measurement principle and makes use of Sensirion’s proven CMOSens® MEMS Technology. This allowed us to build a radical mass flow meter with best-in-class performance and excellent reliability, which unlike most other devices on the market, does not drift and does not require in-service re-calibration. Thanks to the exceptionally high measurement range enabled by the CMOSens® MEMS flow sensor, SFM5500 series can cover multiple flow ranges of a traditional mass flow meter in a single device. They are available in metal packaging, which additionally allows for high pressure resistance. Finally, unlike most devices on the market, SFM5500 are suitable for low and ultra-low (down to 50 sccm full scale flow), as well as high gas flows. Coupled with multi-gas calibration and exchangeable fittings, SFM5500 series are the first of a kind mass flow meters on the market available as standard off-the-shelf products suitable for applications in medical, analytical and industrial sectors. Thanks to this versatility, SFM5500 series are also the first mass flow meters in its category available via catalogue distribution. SFM5500 series complements the SFM5xxx family of Sensirion’s best-in-class mass flow meters, offering the same top performance as SFM5400 and is thus suited for a broad range of applications where best accuracy, highest speed and widest dynamic range are needed. However, unlike the highly configurable SFM5400 series, SFM5500 series mass flow meters are available in several standard pre-configured variants. For other gases, flow ranges, fittings and interfaces please check SFM5400, or Sensirion’s most cost-efficient solution for large OEM projects – SFM5300. If you are looking for a mass flow controller, SFC5500 is a sister variant of SFM5500 featuring a valve. It offers the same great performance.
Siehe LagerbestandKontakt sales

Spezifikation

Massenfluss
Skalenendwert Durchflussrate
10
10slm
Skalenendwert Durchflussrate
10000
10000sccm
Genauigkeit
0.08% FS or 0.8% SP
0.08% FS or 0.8% SP
Maximaler Betriebsdruck
10
10bar
Kalibrierung
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2Oflow
Fluidische Anschlussmöglichkeiten
Legris
Legris
Generisch
Versorgungsspannung
14 - 26.4
14 - 26.4V
Durchschnittlicher Versorgungsstrom
35000
35000uA
Max. Versorgungsstrom
50000
50000uA
Schnittstellen
Device net, RS485
Device net, RS485
Grösse (LxBxH)
105 x 38.5 x 90.5
105 x 38.5 x 90.5mm

Downloads

Datasheet SFC5500/SFM5500

02/2024

Datei

975.3 KB

Datenblatt02/2024PDF975.3 KB
Compatible fittings SFC5500/SFM5500

10/2022

Datei

193.4 KB

Anwendungshinweis10/2022PDF193.4 KB
STEP file SFM5500-50sccm/0.5slm/2slm/10slm

10/2022

Datei

3.4 MB

Drawings/CAD10/2022STEP3.4 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx

07/2023

Datei

869.9 KB

Anwendungshinweis07/2023PDF869.9 KB
Reference and flow conversions

09/2021

Datei

293.7 KB

Anwendungshinweis09/2021PDF293.7 KB
Reference and flow conversions calculator

Datei

30.3 KB

AnwendungshinweisXLSX30.3 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx

Datei

665.2 KB

AnwendungshinweisPDF665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx

09/2021

Datei

369.3 KB

Bedienungsanleitung09/2021PDF369.3 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx

07/2022

Datei

1002.3 KB

Bedienungsanleitung07/2022PDF1002.3 KB
SFC5xxx DeviceNet communication interface reference

03/2023

Datei

796.4 KB

Bedienungsanleitung03/2023PDF796.4 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx

Datei

1.3 MB

BedienungsanleitungPDF1.3 MB
Python driver SFC5xxx/SFM5xxx

Link

SoftwareLink
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx

06/2022

Datei

Software06/2022Datei
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

Datei

1.7 MB

Software03/2022ZIP1.7 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx

04/2022

Datei

1.1 MB

Software04/2022ZIP1.1 MB
REACH and RoHS declaration SFM/SGM

01/2025

Datei

122.8 KB

Zertifikat01/2025PDF122.8 KB
Gas flow sensors brochure

10/2025

Datei

497.6 KB

Flyer10/2025PDF497.6 KB

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EK-F5x

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