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SFM5330

High-precision, configurable, fast, digital flow sensor for OEM

Kontakt sales

Spezifikation

Massenfluss
Skalenendwert Durchflussrate
1, 2 and 5
1, 2 and 5slm
Skalenendwert Durchflussrate
50, 100, 200 and 500
50, 100, 200 and 500sccm
Genauigkeit
0.2%FS or 2% SP
0.2%FS or 2% SP
Maximaler Betriebsdruck
10
10bar
Kalibrierung
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8

Downloads

Datasheet SFC5300/SFM5300 & SFC5330/SFM5330

05/2023

Datei

895.6 KB

Datenblatt05/2023PDF895.6 KB
Mounting plate SFX53xx

07/2022

Datei

196.0 KB

Drawings/CAD07/2022STEP196.0 KB
STEP file SFM5300

07/2022

Datei

5.4 MB

Drawings/CAD07/2022ZIP5.4 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx

07/2023

Datei

869.9 KB

Anwendungshinweis07/2023PDF869.9 KB
Reference and flow conversions

09/2021

Datei

293.7 KB

Anwendungshinweis09/2021PDF293.7 KB
Reference and flow conversions calculator

Datei

30.3 KB

AnwendungshinweisXLSX30.3 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx

Datei

665.2 KB

AnwendungshinweisPDF665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx

09/2021

Datei

369.3 KB

Bedienungsanleitung09/2021PDF369.3 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx

07/2022

Datei

1002.3 KB

Bedienungsanleitung07/2022PDF1002.3 KB
SFC5xxx DeviceNet communication interface reference

03/2023

Datei

796.4 KB

Bedienungsanleitung03/2023PDF796.4 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx

Datei

1.3 MB

BedienungsanleitungPDF1.3 MB
Python driver SFC5xxx/SFM5xxx

Link

SoftwareLink
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx

06/2022

Datei

Software06/2022Datei
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

Datei

1.7 MB

Software03/2022ZIP1.7 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx

04/2022

Datei

1.1 MB

Software04/2022ZIP1.1 MB
REACH and RoHS declaration SFM/SGM

01/2025

Datei

122.8 KB

Zertifikat01/2025PDF122.8 KB
Gas flow sensors brochure

10/2025

Datei

497.6 KB

Flyer10/2025PDF497.6 KB
flow
Fluidische Anschlussmöglichkeiten
Downmount
Downmount
Generisch
Versorgungsspannung
14 - 26.4
14 - 26.4V
Durchschnittlicher Versorgungsstrom
50000
50000uA
Max. Versorgungsstrom
320000
320000uA
Schnittstellen
RS485
RS485
Grösse (LxBxH)
34 x 25 x 62.2
34 x 25 x 62.2mm

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NameBeschreibungSerienKategorie
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EK-F5x

Evaluationskit für SFC5xxx und SFC6xxx Massenflussregler

EK-F5x

Massenflussregler

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