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Rechtlicher Hinweis© Sensirion AG

SFC5460

Versatile MFC for OEM projects with high unit quantities

Der Massenflussregler SFC5400 misst und kontrolliert Massenfluss mit hoher Genauigkeit, Langzeitstabilität und Wiederholbarkeit und besticht durch einen grossen dynamischen Messbereich. Der SFC5400 ist hochgradig konfigurierbar und das Gehäuse aus Metall gefertigt. Weiter ist der Regler mit verschiedenen Schnittstellen und unterschiedlichsten fluidischen Anschlüssen erhältlich und misst maximale Flussraten von 50 sccm bis 200 slm. Das Sensorsignal wird direkt auf dem Chip in ein digitales, vollständig kalibriertes und temperaturkompensiertes Signal umgewandelt. Es können mehrere Gaskalibration auf einem Flussregler hinterlegt werden. Zusätzlich kann das Gerät überprüfen, ob die aktivierte Gaskalibration zum real vorhandenen Gas passt. Die Vielseitigkeit macht den SFC5400 zur idealen Lösung für Anwendungen in der Industrie und Medizin. Wie alle Sensorprodukte von Sensirion basiert auch der Massenflussregler SFC5400 auf der innovativen CMOSens® Technologie, die das hochpräzise Sensorelement zusammen mit der analogen und digitalen Auswertelektronik auf einem CMOS Siliziumchip vereint und dadurch eine herausragende Leistung garantiert. Kombiniert mit hochwertigen Materialien entsteht so dieser langzeitstabile, äusserst schnelle und hochpräzise Massenflussregler. Der Massenflussregler SFC5400 ist auch als ventillose Version erhältlich. Dieser Massenflussmesser SFM5400 verfügt über dieselben Leistungsmerkmale wie der Massenflussregler und kommt in ähnlichen Anwendungen zum Einsatz. Die beiden Sensorprodukte SFC5400 und SFM5400 lassen sich ideal kombinieren. Weitere Informationen und detaillierte Spezifikationen zum Massenmesser finden Sie auf der SFM5400 Website. Für grosse Kundenprojekte passen wir den Massenflussregler SFC5400 an ihre speziellen Bedürfnisse an.
Kontakt sales

Spezifikation

Massenfluss
Skalenendwert Durchflussrate
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 and 10 slm
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 and 10 slmslm
Skalenendwert Durchflussrate
20 and 50 and 100 sccm
20 and 50 and 100 sccmsccm
Genauigkeit
0.08% FS or 0.8% SP
0.08% FS or 0.8% SP
Maximaler Betriebsdruck
5
5bar
Kalibrierung
Air, H2, O2, He, Ar, CO2 and N2 and O2 flow
Air, H2, O2, He, Ar, CO2 and N2 and O2 flowflow
Fluidische Anschlussmöglichkeiten
Swagelok, VCR, VCO, W-Seal, Downmount
Swagelok, VCR, VCO, W-Seal, Downmount
Generisch
Versorgungsspannung
14 - 26
14 - 26V
Durchschnittlicher Versorgungsstrom
50000
50000uA
Max. Versorgungsstrom
320000
320000uA
Schnittstellen
RS485
RS485
Grösse (LxBxH)
101.1 x 24.4 x 91
101.1 x 24.4 x 91mm

Downloads

Datasheet SFC5460/SFM5460

05/2023

Datei

771.3 KB

Datenblatt05/2023PDF771.3 KB
STEP file downmount SFC5460/SFM5460

08/2022

Datei

25.2 MB

Drawings/CAD08/2022STEP25.2 MB
Mass flow controllers brochure

05/2024

Datei

540.8 KB

Flyer05/2024PDF540.8 KB
Mass flow controllers brochure Chinese

06/2024

Datei

633.9 KB

Flyer06/2024PDF633.9 KB
Mass flow controllers brochure Japanese

06/2024

Datei

1.1 MB

Flyer06/2024PDF1.1 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx

07/2023

Datei

869.9 KB

Anwendungshinweis07/2023PDF869.9 KB
Mean time between failures analysis

08/2022

Datei

202.9 KB

Anwendungshinweis08/2022PDF202.9 KB
Reference and flow conversions

09/2021

Datei

293.7 KB

Anwendungshinweis09/2021PDF293.7 KB
Selection guide mass flow controllers

11/2023

Datei

347.8 KB

Anwendungshinweis11/2023PDF347.8 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx

Datei

665.2 KB

AnwendungshinweisPDF665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx

09/2021

Datei

369.3 KB

Bedienungsanleitung09/2021PDF369.3 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx

07/2022

Datei

1002.3 KB

Bedienungsanleitung07/2022PDF1002.3 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx

Datei

1.3 MB

BedienungsanleitungPDF1.3 MB
Python driver SFC5xxx/SFM5xxx

Link

SoftwareLink
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx

06/2022

Datei

Software06/2022Datei
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

Datei

1.7 MB

Software03/2022ZIP1.7 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx

04/2022

Datei

1.1 MB

Software04/2022ZIP1.1 MB
Mounting Plate SFX54xx

07/2022

Datei

168.2 KB

Drawings/CAD07/2022STEP168.2 KB
REACH and RoHS declaration SFC

01/2025

Datei

100.3 KB

Zertifikat01/2025PDF100.3 KB

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Die Sensorlösungen von Sensirion werden in einer Vielzahl von Anwendungen und Märkten eingesetzt. Unsere zuverlässigen Umwelt- und Durchflusssensoren verbessern die Energieeffizienz, erhöhen die Gesundheit und sorgen für Sicherheit und Komfort.

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