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名称 系列 日期 类型 规模
Sample code SFM3xxx sensorbridge
02.2022 Link -
质量流量控制器 / SEK-SFM3019 / SFM3003-300-CE / SFM3003-300-CL / SFM3013-300-CL / SFM3013-300-CLM / SFM3019 / SFM3119
02.2022
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Sample code SFM3xxx 0.1.3
02.2022 Link -
质量流量控制器 / SFM3003-300-CE / SFM3003-300-CL / SFM3013-300-CL / SFM3013-300-CLM / SFM3019 / SFM3119
02.2022
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Sample code SFM3xxx
02.2022 Link -
质量流量控制器 / SEK-SFM3000 / SEK-SFM3XXX-AW/D EVALUATION KIT / SFM3003-300-CE / SFM3003-300-CL / SFM3013-300-CL / SFM3013-300-CLM / SFM3019 / SFM3119
02.2022
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Handling instructions SFM3xxx
01.2021 PDF 141.7 KB
气体流量 / SFM3xxx
01.2021
PDF 141.7 KB
SFM3xxx I²C Functional Description
05.2022 PDF 306.1 KB
质量流量控制器 / SFM3xxx-AW/D / SFM3000-200 / SFM3000-200-C / SFM3200
05.2022
PDF 306.1 KB