Gasspülung

Für industrielle und Halbleiteranwendungen

Gasspülung ist ein wichtiger Prozess in zahlreichen Industrien, um kontaminationsfreie Umgebungen zu gewährleisten, die Produktqualität zu verbessern und gleichzeitig die Betriebseffizienz zu erhalten. Die Mass Flow Controller (MFCs) von Sensirion, einschliesslich des SFC5500 und des neuen, kostengünstigen SFC6000D, bieten herausragende Genauigkeit, schnelle Reaktionszeiten und flexible Konfigurationen – ideal für eine Vielzahl von Industrieanwendungen.

 

Industrieanwendungen für Sensirion MFCs

Die MFCs von Sensirion eignen sich hervorragend für verschiedene industrielle Anwendungen, die eine präzise Steuerung des Inertgasflusses erfordern. Einige Beispiele sind:

 

Schweissen und Löten: Bereitstellung eines kontrollierten Gasflusses, um Oxidation zu verhindern und hochwertige Verbindungen in industriellen Schweissprozessen zu gewährleisten.

 

Laserschneiden und additive Fertigung: Aufrechterhaltung eines präzisen Inertgasflusses zum Schutz von Materialien vor Oxidation und zur Gewährleistung sauberer Schnitte oder einer glatten Schichtablagerung.

 

Gaschromatographie: Regulierung des Trägergasflusses mit hoher Genauigkeit für analytische Instrumente.
 

Verpackung von Lebensmitteln und Getränken: Kontrolle des Stickstoffflusses für die modifizierte Atmosphäre-Verpackung (MAP), um die Haltbarkeit von Produkten zu verlängern.

Die Rolle der Gasspülung in der Halbleiterfertigung

Gasspülung verdrängt unerwünschte Gase mit einem Inertgas wie Stickstoff (N₂), um ultrareine Bedingungen in der Halbleiterfertigung zu schaffen. Wichtige Anwendungen sind unter anderem:

Wafer-Storage-Gasspülung

Sicherstellung der Kontaminationsfreiheit von Wafern durch eine kontrollierte Stickstoffumgebung in FOUPs (Front Opening Unified Pods) und Lagereinheiten.

Atomlagenabscheidung (ALD)

Präzise Steuerung des Gasflusses während der Abscheidezyklen zur Erzeugung gleichmässiger, fehlerfreier Dünnschichten – auch in der Batteriefertigung relevant, um Leistung und Lebensdauer der Komponenten zu verbessern.

Reinigung von Prozesskammern

Spülung verbleibender reaktiver Gase aus Ätz- und Abscheidekammern, um Kreuzkontaminationen zu vermeiden und die Lebensdauer der Anlagen zu verlängern.

Deshalb sollte Sensirion ein Teil deiner Lösung sein

Die digitalen Massedurchflussregler von Sensirion bieten eine hohe Genauigkeit, schnelle Reaktionszeiten und eine Multigas-Kalibrierung, was sie zu einer optimalen Wahl für Halbleiter- und Industriegas-Spülanwendungen macht. Hier ist der Grund dafür:

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Präzision und Stabilität

Die Mass Flow Controller SFC6000D und SFC5500 von Sensirion nutzen die CMOSens®-Technologie, die Sensorik, Signalverarbeitung und Steuerungselektronik auf einem Chip vereint. Dies ermöglicht extrem schnelle Reaktionszeiten und hohe Genauigkeit – für einen präzisen Gasfluss bei Spülanwendungen ohne Schwankungen oder Verluste.

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Die Mass Flow Controller SFC6000D und SFC5500 von Sensirion nutzen die CMOSens®-Technologie, die Sensorik, Signalverarbeitung und Steuerungselektronik auf einem Chip vereint. Dies ermöglicht extrem schnelle Reaktionszeiten und hohe Genauigkeit – für einen präzisen Gasfluss bei Spülanwendungen ohne Schwankungen oder Verluste.

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Im Gegensatz zu herkömmlichen analogen MFCs unterstützen die digitalen Steuergeräte von Sensirion die Multigas-Kalibrierung, so dass der Benutzer zwischen verschiedenen Gasen wechseln kann, ohne dass eine Neukalibrierung erforderlich ist. Diese Flexibilität ist entscheidend für Halbleiter- und Industrieanwendungen, bei denen verschiedene Inertgase (z. B. N₂, Ar, H₂) in verschiedenen Phasen des Herstellungsprozesses verwendet werden.

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Die SFC6000D und SFM6000D von Sensirion bieten anpassungsfähige Konfigurationen: Mit einem Ventil ausgestattet, funktionieren sie als MFCs; ohne Ventil dienen sie als Durchflussmesser. Diese Vielseitigkeit bietet kosteneffiziente Lösungen für Anwendungen wie N₂-Spülung für FOUPs und Wafer-Lagerung, wo hohe Präzision nicht so anspruchsvoll ist, aber Effizienz und Erschwinglichkeit entscheidend sind.

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Die MEMS-basierten Sensoren von Sensirion bieten das schnellste Zeitverhalten auf dem Markt und sind damit ideal für Anwendungen, die eine schnelle und präzise Gassteuerung erfordern, wie z.B. ALD. Dies gewährleistet eine gleichmässige Schichtabscheidung und eine verbesserte Prozesssicherheit.

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Bei Halbleiterfertigungsanlagen ist der Platz oft knapp bemessen. Der SFC6000D beispielsweise bietet eine hohe Durchflussregelungsleistung bei kompakten Abmessungen und ist damit ideal für die Integration in Prozesswerkzeuge und Wafer-Lagersysteme.

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Sensirion MFCs sind mit Industriestandard-Kommunikationsschnittstellen - RS485 und Modbus RTU (für unsere OEM-Versionen) - ausgestattet, die eine nahtlose Integration in Halbleiterfertigungsanlagen und Prozessleitsysteme ermöglichen.

Effizienzsteigerung und Kostensenkung

 

Die Präzision und Reproduzierbarkeit der MFCs von Sensirion helfen Herstellern, den Gasverbrauch zu reduzieren, Ausfallzeiten zu minimieren, den Durchsatz zu erhöhen und die Prozessstabilität zu verbessern. Bei Gasspülanwendungen wird durch die Aufrechterhaltung einer konstanten Durchflussrate sichergestellt, dass Stickstoff und andere Spülgase effizient verwendet werden, was die Betriebskosten senkt und gleichzeitig die erforderlichen Reinheitsgrade aufrechterhält.

Die Gasspülung ist ein wesentlicher Prozess in Halbleiter- und Industrieanwendungen. Um eine optimale Effizienz und Präzision zu erreichen, ist eine fortschrittliche Durchflussregelungstechnologie erforderlich. Die Massendurchflussregler SFC6000D und SFC5500 von Sensirion bieten eine aussergewöhnliche Genauigkeit, schnelle Reaktionszeiten und digitale Multigas-Fähigkeiten, was sie zur idealen Wahl für Gas-Purging-Anwendungen macht.

 

Für Ingenieure und Vertriebsmitarbeiter, die eine leistungsstarke MFC-Lösung für Halbleiter- und Industriekunden empfehlen möchten, sind die digitalen MFCs von Sensirion eine kostengünstige, zuverlässige und hochmoderne Option. Weitere Informationen über diese branchenführenden Lösungen finden Sie auf der Sensirion-Produktseite von Mouser. Zusätzlich bietet Sensirion OEM-Versionen seiner MFCs an, die nicht über die Distribution erhältlich sind. Für Anfragen bezüglich der OEM-Serie wenden Sie sich bitte direkt an Sensirion. 

Möchtest du genauere Informationen?

Unser Onepager zur Gasspülung kann kostenlos heruntergeladen werden.

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Gas purging onepager

Weitere Applikationen

Fotolack-Dosierung: Präzise Dosierung bei der Auftragung von Fotolack

Durchflusszytometrie: Direkte Durchflussmessungen in Echtzeit zur Zellzählung und -sortierung

Front Opening Unified Pods (FOUP)