SFM5300
高精度、可配置、响应快的数字流量传感器(适用于OEM)
SFM5300质量流量计具有卓越的精度（误差＜1%）、可重复性和长期稳定性，宽动态测量范围，尺寸紧凑。SFM5300质量流量计采用钣金式连接方式和数字接口。金属SFM5300是SFM5400系列质量流量计的变种适用于大批量成本敏感的OEM项目。 SFM5300质量流量计的杰出性能基于创新的CMOSens® 技术，它在一个CMOS硅芯片上集成了高精度传感元件和信号处理电路。结合优质材料，其实现了一个持久稳定、快速和高精度的SFM5300质量流量计。 SFM5300质量流量计是SFC5300质量流量控制器的无阀门版本。两个传感器产品具有相同的性能特性，并适用于在类似的应用，这意味着它们可以理想地结合在一起。在SFC5300 网站，你可以找到关于质量流量控制器的进一步信息和详细规格。
规范
| 质量流量 | |||
|---|---|---|---|
| 满量程流速
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100
| 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 | slm | |
| 准确度
0.2%FS or 2% SP
| 0.2%FS or 2% SP | ||
| 最大工作压力
10
| 10 | bar | |
| 校准
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8
| Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 | flow | |
| 流体连接器端口
Downmount
| 下置式安装 |
| Generic | |||
|---|---|---|---|
| 电源电压
14 - 26.4
| 14 - 26.4 | V | |
| 平均供应电流
50000
| 50000 | uA | |
| 最大供应电流
320000
| 320000 | uA | |
| 接口
RS485
| RS485 | ||
| 尺寸 (长x宽x高)
48 x 25 x 79.5
| 48 x 25 x 79.5 | mm³ |
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| 名称 | 产品介绍 | 系列 | 类别 |
|---|---|---|---|
 EK-F5x | SFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx评估套件 | EK-F5x | 质量流量控制器 |
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