SFC5400
多功能质量流量控制器
SFC5400质量流量控制器以优异的精度、长期稳定性和可重复性测量和控制质量流量，覆盖宽动态测量范围。SFC5400可高度配置，其外壳由金属制成。此外，流量控制器可使用各种电气接口和各种流体连接件，测量50 sccm到200 slm的最大流量。传感器信号可在芯片上直接转换成100%校准和经温度补偿的数字信号。多气体校准可存储在单个器件上。此外，流量控制器还可检查激活的气体校准与实际气体是否匹配。SFC5400的通用性使之成为了工业和医疗应用的理想解决方案。 SFC5400质量流量控制器与所有传感器产品一样，依赖创新的CMOSens® 技术，在一个CMOS硅芯片上集成了高精度传感器元件及模拟和数字处理电路，可保证优异的性能。配合优质材料，SFC5400可实现持久稳定、快速和高度精确的流量控制。 SFC5400质量流量控制器也提供无阀版本。SFM5400质量流量计与质量流量控制器具有相同性能特性，可用在类似应用当中，SFC5400和SFM5400可完美组合在一起。在SFM5400网站，您可以找到关于质量流量控制器的更多信息和详细规格。 对于大批量的项目，我们可根据您的具体要求调整或开发您需要的质量流量控制器。
规范
| 质量流量 | |||
|---|---|---|---|
| 满量程流速
1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100
| 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 | slm | |
| 满量程流速
50, 100, 200 and 500
| 50, 100, 200 and 500 | sccm | |
| 准确度
0.08% FS or 0.8% SP
| 0.08% FS or 0.8% SP | ||
| 最大工作压力
5
| 5 | bar | |
| 校准
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8
| Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 | flow | |
| 流体连接器端口
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
| Swagelock, VCO, VCR, Downmount |
| Generic | |||
|---|---|---|---|
| 电源电压
14 - 26.4
| 14 - 26.4 | V | |
| 平均供应电流
50000
| 50000 | uA | |
| 最大供应电流
320000
| 320000 | uA | |
| 接口
Analog voltage, Analog current, Device net, IO link, RS485
| 模拟电压输出,模拟电流,设备网,IO-链接,RS485 | ||
| 尺寸 (长x宽x高)
101.1 x 24.4 x 91
| 101.1 x 24.4 x 91 | mm³ |
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| 名称 | 产品介绍 | 系列 | 类别 |
|---|---|---|---|
 EK-F5x | SFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx评估套件 | EK-F5x | 质量流量控制器 |
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