SFC5300
质量流量控制器（成本敏感、大批量OEM应用）
SFC5300质量流量控制器以优异的精度、长期稳定性和可重复性测量和控制质量流量。它拥有紧凑的尺寸和出色的动态测量范围。SFC5300的外壳由金属制成。SFC5300质量流量控制器向下安装连接，有两个数字接口。SFC5300是SFC5400质量流量控制器变形版，适用成本敏感的大批量OEM项目。 与所有Sensirion传感器一样，SFC5300质量流量计的突出表现依赖创新的CMOSens® 技术，在一个CMOS硅芯片上集成了高精度传感器技术与电子处理电路。配合优质材料，SFC5300可实现持久稳定、快速和高度精确的流量测量。 SFC5300质量流量控制器也提供无阀版本SFM5300。SFC5300和SFM5300具有相同性能特性，可理想地组合在类似应用当中。在SFM5300网站，您可以找到关于质量流量计的更多信息和详细规格。 对于大批量的项目，我们可根据您的具体要求调整或开发您需要的质量流量控制器。
规范
| 质量流量 | |||
|---|---|---|---|
| 满量程流速
1, 2, 5 and 10
| 1, 2, 5 and 10 | slm | |
| 满量程流速
50, 100, 200 and 500
| 50, 100, 200 and 500 | sccm | |
| 准确度
0.2%FS or 2% SP
| 0.2%FS or 2% SP | ||
| 最大工作压力
10
| 10 | bar | |
| 校准
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8
| Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 | flow | |
| 流体连接器端口
Downmount
| 下置式安装 |
| Generic | |||
|---|---|---|---|
| 电源电压
14 - 26.4
| 14 - 26.4 | V | |
| 平均供应电流
50000
| 50000 | uA | |
| 最大供应电流
320000
| 320000 | uA | |
| 接口
RS485
| RS485 | ||
| 尺寸 (长x宽x高)
48 x 25 x 79.5
| 48 x 25 x 79.5 | mm³ |
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| 名称 | 产品介绍 | 系列 | 类别 |
|---|---|---|---|
 EK-F5x | SFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx评估套件 | EK-F5x | 质量流量控制器 |
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