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Abbildung 1a: MEMS-basiertes kalorimetrisches Sensorelement
Abbildung 1b
Abbildung 1c
Abbildung 2a: Innenansicht Gaszähler-Prototypengehäuse mit Durchflusssensor am Gaszählerauslass
Abbildung 2b: Schematische Darstellung des Messaufbaus
Tabelle 1: Prüfgaszusammensetzung
Abbildung 3: Relativer Messfehler beim Referenzgasfluss für fünf Durchflusssensoren
Abbildung 4a: Relativer Messfehler beim Referenzgasfluss für fünf Durchflusssensoren in 100% H₂
Abbildung 4b: Relativer Messfehler beim Referenzgasfluss für fünf Durchflusssensoren in 98% H₂ + 2% CO₂
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