SFM6000D-5slm
高性价比，发行版本，5 slm
SFM6000是SFC6000质量流量控制器的无阀姐妹版，以更低的价格提供卓越的性能。 SFC6000质量流量控制器作为Sensirion新一代质量流量控制器，性价比卓越。在目前行业交货时间一般在 30 至 53 周的大环境下，SFC6000交货时间仅八周，样品可在两到四周内送达。此外，在线上渠道选定SFC6000配置，可实现在线订购，送货上门，方便进行初始测试和评估。 SFC6000小巧轻便，可以帮助客户优化设备的尺寸和重量。对于便携式设备而言，这是核心优势。此外，SFC6000在重复性、精度、控制范围和响应速度方面表现同样出色。同时，SFC6000 高度集成，并且使用的电子元件数量少，供应链稳定。 Sensirion基于热式测量原理，结合我们成熟的CMOSens® MEMS技术，打造具备一流性能和速度的全新质量流量控制器，与市场上大多数其他设备不同，它零漂移，无需现场重新校准。 应用： -半导体：前开式晶圆传送盒（FOUP），玻璃镀膜和加工 -分析仪器：气相色谱法、生物反应器 -医疗设备：麻醉、通气、心肺机、N2O治疗 -工业自动化
规范
| 质量流量 | |||
|---|---|---|---|
| 满量程流速
5
| 5 | slm | |
| 满量程流速
5000
| 5000 | sccm | |
| 准确度
0.2% FS or 2% SP
| 0.2% FS or 2% SP | ||
| 最大工作压力
10
| 10 | bar | |
| 校准
Air, N₂, O₂, N₂O, Ar and CO₂
| Air, N₂, O₂, N₂O, Ar and CO₂ | flow | |
| 流体连接器端口
Push-in 6mm, downmount
| Push-in 6mm, downmount |
| Generic | |||
|---|---|---|---|
| 电源电压
22.8 - 25.2
| 22.8 - 25.2 | V | |
| 平均供应电流
10
| 10 | mA | |
| 最大供应电流
20
| 20 | mA | |
| 接口
I²C, RS485
| I²C,RS485 | ||
| 尺寸 (长x宽x高)
74 x 40 x 20
| 74 x 40 x 20 | mm³ |
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| 名称 | 产品介绍 | 系列 | 类别 |
|---|---|---|---|
 EK-F5x | SFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx评估套件 | EK-F5x | 质量流量控制器 |
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