规范
| 质量流量 | |||
|---|---|---|---|
| 满量程流速
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 and 10 slm
| 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 and 10 slm | slm | |
| 满量程流速
20 and 50 and 100 sccm
| 20 and 50 and 100 sccm | sccm | |
| 准确度
0.08% FS or 0.8% SP
| 0.08% FS or 0.8% SP | ||
| 最大工作压力
5
| 5 | bar | |
| 校准
Air, H2, O2, He, Ar, CO2 and N2 and O2 flow
| Air, H2, O2, He, Ar, CO2 and N2 and O2 flow | flow |
| Generic | |||
|---|---|---|---|
| 电源电压
14 - 26
| 14 - 26 | V | |
| 平均供应电流
50000
| 50000 | uA | |
| 最大供应电流
320000
| 320000 | uA | |
| 接口
RS485
| RS485 | ||
| 尺寸 (长x宽x高)
101.1 x 24.4 x 91
| 101.1 x 24.4 x 91 | mm³ |
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| 名称 | 产品介绍 | 系列 | 类别 |
|---|---|---|---|
 EK-F5x | SFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx评估套件 | EK-F5x | 质量流量控制器 |
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