SFM5400
高精度、可配置、响应快的多气体流量传感器
SFM5400质量流量计具有卓越的精度（误差＜1%）、可重复性和长期稳定性，宽动态测量范围。SFM5400由金属制成，且高度可配置。它采用多种机械连接和电气接口，可测量50 sccm和200 slm之间的流量。传感器信号可在芯片上直接转换成数字、完全校准和温度补偿的信号。多个气体校准可以存储在一个器件中。此外，流量计可以检查激活的气体校准是否与实际存在气体相匹配。SFM5400的通用性使它成为工业和医疗应用的理想解决方案。 SFM5400质量流量计的杰出性能基于创新的CMOSens® 技术，它在一个CMOS硅芯片上集成了高精度传感元件和信号处理电路。结合优质材料，实现了一个持久稳定、快速和高精度的质量流量计。 SFM5400质量流量计是SFC5400质量流量控制器的无阀门版本。SFC5400质量流量控制器与质量流量计具有相同的性能特性，并适用于类似的应用，这两个产品可以完美结合在一起。在SFC5400 网站，你可以找到关于质量流量控制器的进一步信息和详细规格。
规范
| 质量流量 | |||
|---|---|---|---|
| 满量程流速
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100
| 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 | slm | |
| 准确度
0.08% FS or 0.8% SP
| 0.08% FS or 0.8% SP | ||
| 最大工作压力
10
| 10 | bar | |
| 校准
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8
| Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 | flow | |
| 流体连接器端口
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
| Swagelock, VCO, VCR, Downmount |
| Generic | |||
|---|---|---|---|
| 电源电压
14 - 26.4
| 14 - 26.4 | V | |
| 平均供应电流
50000
| 50000 | uA | |
| 最大供应电流
320000
| 320000 | uA | |
| 接口
Analog voltage, Analog current, Device net, IO link, RS485
| 模拟电压输出,模拟电流,设备网,IO-链接,RS485 | ||
| 尺寸 (长x宽x高)
101.1 x 24.4 x 91
| 101.1 x 24.4 x 91 | mm³ |
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| 名称 | 产品介绍 | 系列 | 类别 |
|---|---|---|---|
 EK-F5x | SFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx评估套件 | EK-F5x | 质量流量控制器 |
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