SFM5400

高精度、可配置、响应快的多气体流量传感器

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规范

质量流量
满量程流速
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 slm
准确度
0.08% FS or 0.8% SP
0.08% FS or 0.8% SP
最大工作压力
10
10 bar
校准
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 flow
流体连接器端口
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
Generic
电源电压
14 - 26.4
14 - 26.4 V
平均供应电流
50000
50000 uA
最大供应电流
320000
320000 uA
接口
Analog voltage, Analog current, Device net, IO link, RS485
模拟电压输出,模拟电流,设备网,IO-链接,RS485
尺寸 (长x宽x高)
101.1 x 24.4 x 91
101.1 x 24.4 x 91 mm³

下载

名称 类型 日期 文件 规模
Datasheet SFC5400/SFM5400

05/2023

File

798.8 KB

数据表 05/2023 PDF 798.8 KB
Mounting Plate SFX54xx

07/2022

File

168.2 KB

Drawings/CAD 07/2022 STEP 168.2 KB
STEP file SFC5400

10/2021

File

3.2 MB

Drawings/CAD 10/2021 ZIP 3.2 MB
STEP file SFM5400

07/2022

File

3.7 MB

Drawings/CAD 07/2022 ZIP 3.7 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx

07/2023

File

869.9 KB

应用说明 07/2023 PDF 869.9 KB
Reference and flow conversions

09/2021

File

293.7 KB

应用说明 09/2021 PDF 293.7 KB
Reference and flow conversions calculator

10/2021

File

30.3 KB

应用说明 10/2021 XLSX 30.3 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx

02/2022

File

665.2 KB

应用说明 02/2022 PDF 665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx

09/2021

File

369.3 KB

用户指南 09/2021 PDF 369.3 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx

07/2022

File

1002.3 KB

用户指南 07/2022 PDF 1002.3 KB
SFC5xxx DeviceNet communication interface reference

03/2023

File

796.4 KB

用户指南 03/2023 PDF 796.4 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

File

1.3 MB

用户指南 03/2022 PDF 1.3 MB
Python driver SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

Link

-

软件 03/2022 链接 -
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx

06/2022

File

-

软件 06/2022 文件 -
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

File

1.7 MB

软件 03/2022 ZIP 1.7 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx

04/2022

File

1.1 MB

软件 04/2022 ZIP 1.1 MB
REACH and RoHS declaration SFM/SGM

11/2024

File

97.9 KB

证明书 11/2024 PDF 97.9 KB
Gas flow sensors brochure

01/2024

File

622.9 KB

传单 01/2024 PDF 622.9 KB
Mass flow controllers brochure chinese

06/2024

File

633.9 KB

传单 06/2024 PDF 633.9 KB

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