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Rechtlicher Hinweis© Sensirion AG

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SFC5300

MFC für kostensensible OEM-Projekte mit hohen Stückzahlen

Der Massenflussregler SFC5300 misst und kontrolliert Massenfluss mit hoher Genauigkeit, Langzeitstabilität und Wiederholbarkeit. Er besticht durch eine kompakte Bauweise und einen grossen dynamischen Messbereich. Das Gehäuse des Massenflussregler SFC5300 ist aus Metall gefertigt. Der SFC5300 wird als Downmount-Komponente angeschlossen und verfügt über zwei digitale Schnittstellen. Der SFC5300 ist die kompakte und kostenoptimierte Variante des Massenflussreglers SFC5400 und ist für kostensensitive OEM-Projekte mit hohen Stückzahlen gedacht. Die herausragende Leistung der Massenreglers SFC5300 basiert auf der patentierten CMOSens® Technologie, die die hochpräzise Sensorik zusammen mit der Auswertelektronik auf einem CMOS Siliziumchip vereint. Kombiniert mit hochwertigen Materialien entsteht so der langzeitstabile, äusserst schnelle und hochpräzise Massenflussregler SFC5300. Der Massenflussregler SFC5300 ist auch als ventillose Version erhältlich. Die beiden Sensorprodukte verfügen über dieselben Leistungsmerkmale und kommen in ähnlichen Anwendungen zum Einsatz. Der Massenflussregler SFC5300 lässt sich ideal mit dem Massenflussmesser SFM5300 kombinieren. Weitere Informationen und detaillierte Spezifikationen zum Massenregler finden Sie auf der SFM5300 Website. Für grosse Kundenprojekte passen wir den Massenflussregler SFC5300 an ihre speziellen Bedürfnisse an.
Kontakt sales

Spezifikation

Massenfluss
Skalenendwert Durchflussrate
1, 2, 5 and 10
1, 2, 5 and 10slm
Skalenendwert Durchflussrate
50, 100, 200 and 500
50, 100, 200 and 500sccm
Genauigkeit
0.2%FS or 2% SP
0.2%FS or 2% SP
Maximaler Betriebsdruck
10
10bar
Kalibrierung
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8flow
Fluidische Anschlussmöglichkeiten
Downmount
Downmount
Generisch
Versorgungsspannung
14 - 26.4
14 - 26.4V
Durchschnittlicher Versorgungsstrom
50000
50000uA
Max. Versorgungsstrom
320000
320000uA
Schnittstellen
RS485
RS485
Grösse (LxBxH)
48 x 25 x 79.5
48 x 25 x 79.5mm

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Mass flow controllers brochure

05/2024

Datei

540.8 KB

Flyer05/2024PDF540.8 KB
Mass flow controllers brochure Chinese

06/2024

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633.9 KB

Flyer06/2024PDF633.9 KB
Mass flow controllers brochure Japanese

06/2024

Datei

1.1 MB

Flyer06/2024PDF1.1 MB
Datasheet SFC5300/SFM5300 & SFC5330/SFM5330

05/2023

Datei

895.6 KB

Datenblatt05/2023PDF895.6 KB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx

07/2023

Datei

869.9 KB

Anwendungshinweis07/2023PDF869.9 KB
Mean time between failures analysis

08/2022

Datei

202.9 KB

Anwendungshinweis08/2022PDF202.9 KB
Reference and flow conversions

09/2021

Datei

293.7 KB

Anwendungshinweis09/2021PDF293.7 KB
Selection guide mass flow controllers

11/2023

Datei

347.8 KB

Anwendungshinweis11/2023PDF347.8 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx

Datei

665.2 KB

AnwendungshinweisPDF665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx

09/2021

Datei

369.3 KB

Bedienungsanleitung09/2021PDF369.3 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx

07/2022

Datei

1002.3 KB

Bedienungsanleitung07/2022PDF1002.3 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx

Datei

1.3 MB

BedienungsanleitungPDF1.3 MB
Python driver SFC5xxx/SFM5xxx

Link

SoftwareLink
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx

06/2022

Datei

Software06/2022Datei
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

Datei

1.7 MB

Software03/2022ZIP1.7 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx

04/2022

Datei

1.1 MB

Software04/2022ZIP1.1 MB
Mounting plate SFX53xx

07/2022

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196.0 KB

Drawings/CAD07/2022STEP196.0 KB
STEP file SFC5300

Datei

4.7 MB

Drawings/CADZIP4.7 MB
REACH and RoHS declaration SFC

01/2025

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100.3 KB

Zertifikat01/2025PDF100.3 KB

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EK-F5xEvaluationskit für SFC5xxx und SFC6xxx MassenflussreglerEK-F5xMassenflussregler

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Evaluationskit für SFC5xxx und SFC6xxx Massenflussregler

EK-F5x

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SFC5460

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