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Rechtlicher Hinweis© Sensirion AG

SFM5400

Hochpräziser, konfigurierbarer, schneller Multi-Gas-Sensor

Der Massenflussmesser SFM5400 misst Massenfluss mit hoher Genauigkeit (Fehler < 1%), Langzeitstabilität und Wiederholbarkeit und besticht durch einen grossen dynamischen Messbereich. Der SFM5400 ist aus Metall gefertigt und hochgradig konfigurierbar. Er ist mit unterschiedlichsten fluidischen Anschlüssen und verschiedenen Schnittstellen erhältlich und misst maximale Flussraten zwischen 50 sccm und 100 slm. Das Sensorsignal wird direkt auf dem Chip in ein digitales, vollständig kalibriertes und temperaturkompensiertes Signal umgewandelt. Es können mehrere Gaskalibration auf einem Flussmesser hinterlegt werden. Zusätzlich kann das Gerät überprüfen, ob die aktivierte Gaskalibration zum real vorhandenen Gas passt. Die Vielseitigkeit macht den SFM5400 zur idealen Lösung für Anwendungen in der Industrie und Medizin. Die herausragende Leistung der Massenmessers SFM5400 basiert auf der innovativen CMOSens® Technologie, die das hochpräzise Sensorelement zusammen mit der analogen und digitalen Auswertelektronik auf einem CMOS Siliziumchip vereint. Kombiniert mit hochwertigen Materialien entsteht so dieser langzeitstabile, äusserst schnelle und hochpräzise Massenflussmesser. Der Massenflussmesser SFM5400 ist die ventillose Version des Massenflussreglers SFC5400. Der Massenflussregler SFC5400 verfügt über dieselben Leistungsmerkmale wie der Massenflussmesser und kommt in ähnlichen Anwendungen zum Einsatz. Die beiden Sensorprodukte SFM5400 und SFC5400 lassen sich ideal kombinieren. Weitere Informationen und detaillierte Spezifikationen zum Massenregler finden Sie auf der SFC5400 Produktseite.
Kontakt sales

Spezifikation

Massenfluss
Skalenendwert Durchflussrate
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100slm
Genauigkeit
0.08% FS or 0.8% SP
0.08% FS or 0.8% SP
Maximaler Betriebsdruck
10
10bar
Kalibrierung
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8flow
Fluidische Anschlussmöglichkeiten
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
Generisch
Versorgungsspannung
14 - 26.4
14 - 26.4V
Durchschnittlicher Versorgungsstrom
50000
50000uA
Max. Versorgungsstrom
320000
320000uA
Schnittstellen
Analog voltage, Analog current, Device net, IO link, RS485
Analog voltage, Analog current, Device net, IO link, RS485
Grösse (LxBxH)
101.1 x 24.4 x 91
101.1 x 24.4 x 91mm

Downloads

Datasheet SFC5400/SFM5400

05/2023

Datei

798.8 KB

Datenblatt05/2023PDF798.8 KB
Mounting Plate SFX54xx

07/2022

Datei

168.2 KB

Drawings/CAD07/2022STEP168.2 KB
STEP file SFC5400

Datei

3.2 MB

Drawings/CADZIP3.2 MB
STEP file SFM5400

07/2022

Datei

3.7 MB

Drawings/CAD07/2022ZIP3.7 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx

07/2023

Datei

869.9 KB

Anwendungshinweis07/2023PDF869.9 KB
Reference and flow conversions

09/2021

Datei

293.7 KB

Anwendungshinweis09/2021PDF293.7 KB
Reference and flow conversions calculator

Datei

30.3 KB

AnwendungshinweisXLSX30.3 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx

Datei

665.2 KB

AnwendungshinweisPDF665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx

09/2021

Datei

369.3 KB

Bedienungsanleitung09/2021PDF369.3 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx

07/2022

Datei

1002.3 KB

Bedienungsanleitung07/2022PDF1002.3 KB
SFC5xxx DeviceNet communication interface reference

03/2023

Datei

796.4 KB

Bedienungsanleitung03/2023PDF796.4 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx

Datei

1.3 MB

BedienungsanleitungPDF1.3 MB
Python driver SFC5xxx/SFM5xxx

Link

SoftwareLink
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx

06/2022

Datei

Software06/2022Datei
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

Datei

1.7 MB

Software03/2022ZIP1.7 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx

04/2022

Datei

1.1 MB

Software04/2022ZIP1.1 MB
REACH and RoHS declaration SFM/SGM

01/2025

Datei

122.8 KB

Zertifikat01/2025PDF122.8 KB
Gas flow sensors brochure

10/2025

Datei

497.6 KB

Flyer10/2025PDF497.6 KB

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Die Sensorlösungen von Sensirion werden in einer Vielzahl von Anwendungen und Märkten eingesetzt. Unsere zuverlässigen Umwelt- und Durchflusssensoren verbessern die Energieeffizienz, erhöhen die Gesundheit und sorgen für Sicherheit und Komfort.

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